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    KAGATECHNO石英在线加热器：半导体药液循环

    发布时间： 2026-02-06　　点击次数： 2次
    1. 产品定位日本加賀テクノ（KAGATECHNO）石英在线加热器，专为半导体湿法工艺中药液循环加热设计，适用于氨水过氧化物（SC-1）、磷酸等腐蚀性药液，应用于氮化硅刻蚀及扩散前清洗工序。
    2. 核心技术
    • Inconel网目发热体：镍铬铁合金直接熔接于石英筒外壁，耐腐蚀、抗空烧，解决传统绕线加热器断线及气囊积聚导致的局部过热问题
    • 石英双重管结构：内管走药液（零金属污染），外管包裹发热体，即使外管破损也不污染药液
    • 阻燃FRPP外壳：内置温度监测，过热自动保护
    3. 关键参数
    指标参数
    功率2.2/4.4/6.5kW
    电压单相200V
    温度室温～160℃
    适用药液SC-1、磷酸
    接头3/4英寸石英法兰
    4. 应用价值直通式结构无液滞留，在线串联于循环回路实现精准温控。相比投浸式加热器，支持不停机维护，热响应更快，是RCA清洗及氮化硅刻蚀等关键工序的高可靠性加热解决方案。


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