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日本大冢电子Smart膜厚仪的技术特点

发布时间： 2025-07-14　　点击次数： 9次

　　日本大冢电子(Otsuka)的Smart膜厚仪是一款手持式、高精度的测量设备，专为现场使用而设计。该设备能够测量0.1μm单位的膜厚，并且具有非破坏性的测量能力，适用于具有形状的样品。此外，Smart膜厚仪不受基材材质的限制，可以测量其镀膜。

　　Smart膜厚仪的测量原理基于反射分光法(光干涉法)，这是一种非破坏性测量方法。该设备的膜厚测量范围为1μm至50μm，显示上限为60μm，重复精度达到2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)。测量时间极短，仅需1秒内，且测量层数为1层。数据输出可以通过附属操作屏幕显示或以USB输出Excel档案，测量点大小为Φ1mm以下，重量约为1.1kg。

　　该设备还提供了笔型探头选配，能够测量狭窄区域或形状的样品，探头Φ6mm。此外，还有非接触式载台选配，对于湿膜或半导体晶圆等不想接触的样品，可以通过自由设定探头位置进行非接触测量。这些特点使得Smart膜厚仪在产品开发、产线设定、质量管理以及售后服务等多个领域都有广泛的应用场景。

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