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日本大冢电子SF-3晶圆膜厚仪的技术解析

发布时间： 2025-07-14　　点击次数： 6次

　　日本大冢电子(Otsuka)生产的SF-3小型晶圆膜厚仪是一种专为半导体制造领域设计的精密测量设备。该设备采用分光干涉法实现高精度的膜厚测量，具有非接触式、非破坏性的特点，适用于硅晶圆、玻璃等基材的厚度测量。SF-3膜厚仪的测量范围广泛，从0.1 μm到1600 μm，能够满足不同厚度测量需求。其测量精度高，重复精度达到0.001%以下，测量时间仅需10毫秒，展现了测量效率和准确性。

　　SF-3膜厚仪的设计紧凑，体积小，安装简便，非常适合集成到生产线中。它能够实现长距离工作(Working Distance)，从3 mm到200 mm，使得在不同生产环境中的安装和使用更加灵活。此外，该设备还支持多层厚度测量，即使在短暂贴合的情况下也能准确测量各层厚度，这对于3D IC堆叠等先进封装技术尤为重要。

　　SF-3膜厚仪还具备高速测量能力，最快可达5kHz，能够实时监控研磨厚度，这对于提高生产效率和产品质量具有重要意义。设备通过LAN接口实现远程控制，方便与Host系统连接，实现自动化生产流程。

　　总的来说，SF-3小型晶圆膜厚仪以其高精度、高效率和灵活性，在半导体制造领域发挥着重要作用，是实现精确膜厚控制的理想选择。

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