日本Otsuka显微分光测厚仪OPTM系列技术解析-深圳市秋山贸易有限公司

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日本Otsuka显微分光测厚仪OPTM系列技术解析

发布时间： 2025-07-14　　点击次数： 8次

　　日本Otsuka显微分光测厚仪OPTM系列是一款高精度测量设备，广泛应用于研发和质量控制领域。该设备通过显微分光技术实现高精度膜厚和光学常数测试，具备快速测量、安全结构及个性化定制等功能。OPTM系列显微分光膜厚仪能够测量绝对反射率、多层膜厚、折射率和消光系数，纳米级测量，精度高。该设备采用分光干涉法，可进行非破坏性和非接触式厚度测量，测量速度可达1秒/点。

　　OPTM系列的技术特点包括非接触、非破坏式测量，量测头可自由集成在客户系统内，高精度、高再现性量测紫外到近红外波段内的绝对反射率，可分析多层薄膜厚度、光学常数(n：折射率、k：消光系数)。单点对焦加量测在1秒内完成，显微分光下广范围的光学系统(紫外 ~ 近红外)，独立测试头对应各种inline定制化需求，最小对应spot约3μm。

　　此外，OPTM系列还具有技术，如反射对物镜，可物理性去除透明基板的里面反射，实现高精度测定。3微米微区测量功能，通过软件同时显示样品画面和测定光采取部位，可很好确认到测定点。自动高精度mapping样品台，标配XY自动平台，仅需输入坐标即可自动多点检测大面积样品，实时获取厚度分布图。

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