日本pureron超高纯度小型气体净化器GP/GPF系列
日本pureron超高纯度小型气体净化器GP/GPF系列
超高纯度小型气体净化器 GP/GPF系列
- 不同条件下,可去除可惰性气体和特殊气体中1PPB以下的水分、氧气、氢化物等杂质。
- 内置的初步过滤用的滤材全部标准使用SUS316L,不会引起腐蚀产生生颗粒等化学反应。
- HBr、HCl等强腐蚀性特殊气体中所含水分,100PPB(分析装置的检测界限)以下可以去除。
- 小型、轻量的GP-05型和过滤器同样大小(长度84mm),仅重120g。
- 根据不同气体类型,350℃-400℃的加热再激活处理可在使用寿命期限内多次重复使用。
净化能力 | 杂质:1PPB以下 出口侧杂质合计:10PPB以下 (和条件相关) |
---|---|
材质 | 外罩:SUS316L 電解研磨 R max 0.7μm以下 滤材:SUS316L 净化剂:金属・吸气剂、其它 |
流量范围 | 0.5LPM~20LPM(随类型/压力条件变化) |
使用压力 | 0.97MPa(140.65PSIG) |
使用温度 | 室温或者350~400℃(随用途变化) |
外部泄漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec 以下 |
连接零件 | 1/4"、3/8" Gasket seal、 Compression seal |
气体净化器
超高纯度气体净化器能够高效率除去惰性气体和特种气体中的水分、氧气、碳氢化合物等杂质。
- GP/GPF系列: 净化材料:金属、吸气剂、其它
- GPFC系列: 净化材料:单一球状活性炭
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