PK361 全压型真空计测量技术与应用探究-深圳市秋山贸易有限公司

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PK361 全压型真空计测量技术与应用探究

发布时间： 2026-08-04　　点击次数： 3次

PK361 全压型真空计由日本热理工（Thermo Riko）推出，是一款集成复合测量原理的宽量程真空检测设备，有效解决传统真空设备量程分段、需要多支规管搭配使用的痛点，成为超高真空腔体监测的常用测量仪器。整套设备由真空规探头、信号控制主机两部分组成，分体式结构便于在狭小真空腔体周边安装布局，主机搭载显示屏可实时读取压力数值，同时支持信号对外传输，方便接入自动化控制系统。
该真空计融合皮拉尼热传导测量与冷阴极电离两种检测原理，实现从常压到超高真空区间连续测量。在低真空区域依靠皮拉尼规基于气体热传导特性采集压力数据；进入高真空区间后，设备自动切换至冷阴极电离模式，捕捉稀薄气体电离产生的微弱电流换算真空度。两种模式无缝切换，全程无需人工更换规管，消除不同真空规切换带来的数据断层问题，量程下限可达 5×10⁻⁹Pa，覆盖绝大多数真空工艺所需压力区间。
洁净度表现是 PK361 的突出优势。设备可搭配金属密封法兰选型，摒弃橡胶密封件，减少密封圈出气对真空腔体造成污染，十分重视气体杂质含量的半导体设备、表面物理实验腔体均可稳定使用。设备抗气流扰动能力较强，在真空泵持续抽气、腔体存在微量气流流动工况下，数据漂移幅度较低，能够长期维持稳定监测。
目前 PK361 广泛应用在多个真空领域。半导体制造的薄膜沉积、等离子刻蚀设备依靠它实时监控腔体真空环境；各类科研超高真空实验平台、离子束设备、真空镀膜机组，也常采用该型号作为标准压力监测组件。除此之外，真空检漏系统、分子泵性能测试平台同样能够发挥其宽量程测量优势。
想要延长设备使用寿命，日常维护工作不容忽视。冷阴极电极长期工作容易吸附污染物，当测量出现明显偏差时，需要对规管腔体进行清洁处理；安装阶段注意保证法兰密封面无划痕、杂质，防止出现泄漏干扰测量精度。同时，应当避免规管直接接触腐蚀性工艺气体，必要时增加过滤保护组件。
真空技术持续向着更高洁净度、自动化方向发展，一体化全量程真空测量仪器需求持续上升。PK361 这类复合型全压真空计简化真空系统配套结构，降低设备搭建成本，后续也将在更多前沿真空工艺与科研实验场景持续普及。

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