精准测控中低真空：日本特微 PGD 系列数字皮拉尼真空计技术分析-深圳市秋山贸易有限公司

技术文章ARTICLE

您当前的位置：首页 > 技术文章 > 精准测控中低真空：日本特微 PGD 系列数字皮拉尼真空计技术分析
精准测控中低真空：日本特微 PGD 系列数字皮拉尼真空计技术分析

发布时间： 2026-04-01　　点击次数： 1次

日本特微（TOMIX）PGD 系列数字皮拉尼真空计，是专为工业真空系统打造的高精度热传导式测量仪表，以恒温式检测原理、微电脑智能控制、宽量程自动切换为核心技术，实现 1×10⁴Pa~1×10⁻¹Pa 中低真空范围的稳定、快速测量。产品兼顾小型化、高可靠性与数字化接口，广泛适配半导体、真空镀膜、化工、科研实验室等场景，成为真空过程质控的核心检测设备。
一、核心测量原理与电路设计
PGD 系列基于皮拉尼热传导效应与恒温闭环控制工作，核心物理机制遵循气体热导率与压力的强相关性。真空规管内置 SUS 材质 15φ PG 传感球，内部搭载铂金丝加热元件，通电后维持恒定温度（约 100-150℃）。当真空度变化时，气体分子密度改变，碰撞热丝带走的热量随之波动：真空度越高，分子越少，热损失越小，维持恒温所需电流越低；反之则电流升高。
系统采用惠斯通电桥 + 微处理器双核心架构，通过闭环反馈电路精准调节热丝电流，保持温度恒定。同时内置温度补偿模块，抵消环境温度波动对测量的干扰，将热丝电阻变化转化为线性电信号，经 AD 采样与算法处理后，直接输出 Pa 单位真空值，从原理上规避传统恒流模式的非线性误差，测量精度与稳定性显著提升。
二、关键技术参数与结构特性
PGD 系列主打 PGD-001 与 PGD-0024H 两款型号，核心参数贴合工业现场需求，设计兼顾易用性与耐用性：
测量范围：1×10⁴Pa~1×10⁻¹Pa，内置 5 档量程自动切换，无需人工干预，覆盖中低真空全区间。
显示与响应：7 段 LED 数字显示（2 位尾数 + 1 位指数），读数直观；采样速度 0.5 秒，实时追踪真空动态变化。
规管与材质：标配 SUS15φ PG 球，抗腐蚀、抗污染，适配多种气体环境；PGD-001 配 2m 测量线，PGD-0024H 延长至 15m，满足远距离安装。
电气与接口：电源 AC100V 50/60Hz，功耗 20W；支持 RS232C 通讯、模拟量输出（10mV / 满量程），PGD-0024H 搭载 4 点继电器触点输出（DC30V/2A），可实现上下限报警与联动控制。
物理规格：桌面 / 面板两用型，尺寸 84 (W)×147 (H)×200 (D) mm，重量 1.7kg，结构紧凑，便于设备集成与现场部署。
三、核心技术优势
宽量程高精度：突破传统皮拉尼计量程窄、精度波动局限，5 档自动切换覆盖常用工业真空区间，测量误差控制在 ±1% 以内，重复性优良，适配动态抽真空与稳态监测。
抗干扰长寿命：SUS 传感球与铂金丝设计，耐粉尘、耐轻微腐蚀，降低污染导致的精度衰减；恒温控制减少热丝氧化，规管寿命较常规产品提升 30% 以上。
数字化智能化：微电脑全程控制，支持单位直读、自动校准、故障自检；继电器输出与通讯接口兼容 FA 系统，可接入自动化产线，实现真空数据远程监控与记录。
易用性强：无需复杂预热，开机即测；LED 显示清晰，按键式参数设定，操作简便；长距离测量线适配复杂设备布局，安装灵活性高。
四、应用场景与价值总结
PGD 系列主要应用于半导体制造（CVD/PVD 设备）、真空干燥、真空热处理、镀膜设备、科研真空系统等领域，负责真空机组启动、工艺过程、检漏环节的真空度实时监测。其精准测量保障工艺稳定性，数字接口助力产线智能化升级，小型化设计降低集成成本，高可靠性减少维护频次。
综上，日本特微 PGD 系列数字皮拉尼真空计，以恒温式核心技术、宽量程自适应、数字化全功能为核心竞争力，平衡精度、稳定性与实用性，解决中低真空测量的精度与适配性痛点。作为工业真空检测的标准化选型，其为真空设备的安全运行、工艺优化提供可靠数据支撑，推动真空测控向精准化、智能化发展。

下一篇：日本千曲精机 FREEDOM mk II FPD 点灯检查装置技术交流

上一篇：分子指纹即时检测：日本Beatsensing反射式小型近红外光谱仪技术分析

产品中心 Products

精准测控中低真空：日本特微 PGD 系列数字皮拉尼真空计技术分析

一、核心测量原理与电路设计

二、关键技术参数与结构特性

三、核心技术优势

四、应用场景与价值总结