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    200气压超高压汞灯技术——日本CCS 165-SHU UV光源的精密固化解决方案

    发布时间: 2026-03-07  点击次数: 9次

    核心技术

    日本CCS 165-SHU采用200气压超高压汞灯技术,配合1mm短弧长设计,实现3800mW/cm²的超高辐射强度,专为精密UV固化与光刻工艺打造

    关键参数

    参数规格
    灯管功率DC 165W
    辐射强度3800mW/cm² @ 365nm
    灯管寿命2000小时(至初始光量40%)
    光谱范围315-420nm宽光谱
    输入电源AC 95-240V通用
    冷却方式强制风冷

    核心优势

    超高压技术:200气压产生极密集等离子体,电弧亮度远超传统汞灯
    宽光谱输出:覆盖315-420nm,匹配多种光引发剂,适用复杂固化工艺
    产线集成:配备外部控制接口,支持自动化系统联动

    主要应用

    • 半导体光刻:功率芯片铝布线、MEMS结构、LED电极Pad的i-line曝光
    • 电子封装:环氧树脂、光敏胶快速固化
    • PCB制造:阻焊油墨高能量固化
    • 缺陷检测:365nm紫外荧光激发,识别表面微裂纹与污染

    结语

    165-SHU以中端成本实现接近设备的辐射强度,是半导体成熟制程与精密电子制造中替代昂贵DUV设备的务实选择,在Micro-LED与先进封装领域具有显著技术经济优势。


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