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    日本Frontier-s ZD-IDS系列:移动式无图案表面缺陷检测系统

    发布时间: 2026-02-09  点击次数: 17次
    工业精细化生产中,无图案基材(裸晶圆、光学玻璃等)的缺陷检测的难点的在于无参考图形、检测灵活性不足,日本Frontier-s ZD-IDS系列移动式无图案表面缺陷检查系统,以创新光学技术与灵活设计,为多行业提供精准、高效的质检解决方案。

    一、产品核心定位

    ZD-IDS系列以“移动式+无图案精准检测"为核心,可灵活移动至检测现场,无需搬运检测对象,降低基材损伤风险;搭配专属光学算法与传感技术,精准捕捉微小缺陷,无图案表面移动式检测空白,兼顾灵活性与精度。

    二、核心技术亮点

    系统融合多项核心技术,实现“无参考、高精准、快响应"检测,关键亮点如下:

    (一)高精度光学检测

    采用明暗场协同照明与量子点CCD传感器,自动切换检测模式,可捕捉微小颗粒、划痕、凹陷等缺陷,最小检测精度达10μm,远超人工检测水平。

    (二)专属无图案识别算法

    摒弃传统图像对比,通过基材光学特性建模识别缺陷,误判率≤0.1%、漏检率≤0.05%,支持在线模型更新,适配多品类基材检测。

    (三)移动式集成设计

    轻量化机身搭配可调节滚轮,可灵活转运至各检测工位,无线传输+便携式操作终端,支持远程控制与数据追溯,适配0-40℃工业环境稳定运行。

    (四)全流程自动化

    自动完成图像采集、缺陷识别与结果输出,检测效率较人工提升5-10倍,可替代3-5名检测人员,支持流水线在线检测,不中断生产。

    三、核心优势

    • 精准:10μm级检测精度,误判率、漏检率远优于行业平均;

    • 灵活:移动式设计,无需搬运,适配大型基材与现场检测;

    • 高效:自动化检测,支持在线批量检测,大幅提升质检效率;

    • 易用:操作简便、数据可追溯,维护便捷,无需专业培训。

    四、核心应用场景

    广泛适配多行业无图案基材检测,核心场景包括:

    (一)半导体行业

    无接触检测裸晶圆表面颗粒、划痕等缺陷,助力提升芯片制造良率。

    (二)金属加工行业

    现场检测抛光金属件、模具的划痕、氧化斑点等,避免不合格产品流入下工序。

    (三)光学元件行业

    精准检测光学玻璃、镜片的微小缺陷,保障光学性能稳定。

    (四)塑胶制品行业

    流水线在线检测抛光塑胶件的划痕、色差等,优化生产流程,降低人工成本。

    五、总结与展望

    ZD-IDS系列凭借核心技术突破,解决了无图案基材检测的行业痛点,为各行业提供高效可靠的质检支撑。未来将持续融合前沿技术,优化检测精度与速度,拓展定制化方案,助力工业质检智能化升级。


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