PFA全接液半导体药液在线加热器：Ekusa ECN-60P低温热管理技术

发布时间： 2026-02-07　　点击次数： 20次

一、产品概述

日本Ekusa（江草电机）ECN-60P型在线加热器是专为半导体药液清洗装置设计的紧凑型直列式加热解决方案。作为ECN系列标准功率型号（系列涵盖ECN-30P至ECN-240P），该产品采用全氟树脂（PFA）接液部结构，结合低温加热器设计理念，在确保高纯度药液处理的同时，实现了对流动波动与外部冲击的强耐受性。

二、核心技术架构

2.1 材料纯化工程

全PFA接液部设计：所有接触药液部件均采用高纯度PFA制造，从根本上杜绝金属离子析出与杂质溶出，满足半导体级工艺要求
强腐蚀兼容：可安全处理含（HF）等强腐蚀性药液

2.2 低温热管理策略

低温加热元件：避免药液局部过热导致的化学性质劣化
热惯性控制：停电或紧急停机时，温度上升幅度控制在约10℃范围内，防止热冲击

2.3 多重安全监测体系

过热报警传感器：实时监测加热器本体温度，异常时触发报警并切断电源
液漏传感器：检测PFA管路或连接部位的微量渗漏

三、结构设计与工程特性

技术特征	工程价值
紧凑型设计	便于既有清洗设备管线集成，空间适应性强
电气兼容性	可直接利用现有控制系统，降低改造成本
抗冲击结构	耐受药液流动波动与外部机械冲击

四、应用场景

主要应用于半导体制造湿法工艺：

RCA清洗：SPM、APM等高温药液加热
刻蚀后清洗：基药液温度精准控制
CMP后清洗：去除颗粒与金属污染物的药液恒温输送

五、技术对比

相较于Ekusa EHS型超纯水加热器（电磁感应非接触式），ECN系列采用直列接触式加热，更适合需要快速升温且热容量要求较高的药液处理场景。

六、结语

Ekusa ECN-60P通过PFA材料工程、低温热控制与多重安全监测的集成设计，为半导体药液清洗提供了高可靠性、高纯度的在线加热解决方案，体现了日本精密设备制造商在半导体湿法工艺领域的深厚技术积累。

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