Kashiyama SDE 系列空冷干式涡旋泵：无油实现 10⁻² Pa 极限真空-深圳市秋山贸易有限公司

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Kashiyama SDE 系列空冷干式涡旋泵：无油实现 10⁻² Pa 极限真空

发布时间： 2026-01-07　　点击次数： 9次

一、引言
在半导体刻蚀、OLED 蒸镀、锂电干燥等工艺中，真空泵既要“抽得净"又要，还要“不停机"。传统油旋片泵存在返油、废液、维护繁三大痛点，而水冷干泵又带来厂务能耗与管路腐蚀的新问题。日本 Kashiyama 推出的 SDE 系列空冷干式涡旋泵，以无油、空冷、10⁻² Pa 极限真空的“三合一"指标，成为 2025 年的绿色真空解决方案。
二、无油涡旋技术原理
渐开型线 + 镜像相位
动涡盘与静涡盘保持 180° 相位差，形成 6 个连续新月形密闭腔体；随着主轴旋转，腔体向中心轴向平移，气体被逐级压缩，无润滑油参与密封。
空冷自散热结构
泵体采用“铝-不锈钢复合三明治"外壁，内置 12 条轴向微翅片；高速气流（ 60 m/s）掠过翅片，带走压缩热，无需冷却水即可把排气温度控制在 95 °C 以下。
双向气镇 + 自动再生
针对可凝性工艺气体（TEOS、TMA），SDE 在第三压缩级引入双向 N₂ 气镇，将分压比稀释至 0.3 以下；停机前自动执行 3 min 再生程序，避免副产物沉积造成“卡泵"。
三、SDE 系列关键指标
极限真空：1.0 × 10⁻² Pa（N₂ 载气，ISO21360）
抽速：300 L/min（SDE-300X）/ 600 L/min（SDE-600X）
振动：≤ 0.5 μm（rms，10–1000 Hz）
噪音：≤ 49 dB(A) @ 1 m
MTBF：18 000 h（25 °C 洁净工艺）
功率：0.55 kW（300）/ 0.9 kW（600），比同抽速水冷干泵节电 28%
四、核心创新点
DLC-Si 复合涂层
动、静涡盘表面镀 5 μm 类金刚石-硅复合层，硬度 25 GPa，摩擦系数 0.08，抗 HF 腐蚀速率 < 0.1 nm/h，寿命比传统阳极氧化提高 4 倍。
磁悬浮偏心主轴
采用 22 000 rpm 磁悬浮轴承，偏心量动态补偿 < 1 μm，消除机械磨损颗粒；同时降低振动 60%，可直接安装在 EFEM 搬送腔下方，无需额外减振台。
IoT 预测性维护
内置温度、电流、振动、腔压四维传感器，每 10 s 上传边缘网关；通过 Kashiyama Cloud 的 LSTM 模型，可在轴承失效前 168 h 发出预警，计划外停机减少 90%。
五、典型工艺案例
半导体 ALD 循环
某 3 nm 逻辑厂将 6 台 SDE-600X 用于 Al₂O₃ 沉积前级泵，与罗茨泵组合后极限达 5 × 10⁻⁴ Pa；全年减少冷却水 1.2 万吨，CO₂ 排放降低 42 t。
OLED 蒸镀线
蒸镀源上方 1 m 处安装 SDE-300X，空冷设计避免水冷管路泄漏污染金属掩膜板；平均时间从 9 个月提升到 18 个月，稼动率 +3.2%。
锂电极片干燥
在 120 °C 烘箱出口，SDE 直接抽取 NMP 高湿气体；双向气镇把 NMP 分压降至 0.25，避免泵内聚合堵塞，连续运行 8000 h 拆解检查无沉积层。
六、与竞品对比
指标 SDE-600X 典型水冷涡旋油旋片泵
极限真空(Pa) 1 × 10⁻² 8 × 10⁻³ 4 × 10⁻²
冷却方式空冷水冷(4 L/min) 油冷
返油/返水 0 ppm 0 ppm > 5 ppm
维护周期 18 000 h 8 000 h 2 000 h
年运行成本(USD) 1 900 3 400 5 600
七、未来展望
10⁻³ Pa 级“Plus"系列
通过第四代渐变螺距 + 双级磁悬浮，预计 2026 Q2 发布，极限真空将再下探一个量级，可直接替代部分罗茨+干泵组合，进一步节能 15%。
氢气安全版本
面向光伏 TOPCon 与氢化非晶硅工艺，泵体与电机全部做防爆 Ex d IIC T4 认证，预计 2025 H2 上市。
回收级联系统
与住友重工合作开发“SDE-Recyclable"模块，把泵出口低纯氩气（95%）在线提纯至 99.999%，实现工艺气体循环，年节约氩气 30 万 m³。
八、结论
Kashiyama SDE 系列用“空冷+无油+10⁻² Pa"重新定义了干式真空泵的技术边界，其 DLC-Si 涂层、磁悬浮主轴与 IoT 预测维护三大创新，不仅解决了半导体、OLED、锂电等制造对“洁净、节能、不停机"的苛刻需求，也为真空行业树立了绿色低碳的新。随着 10⁻³ Pa Plus 与氢气安全版本的推出，SDE 有望从“绿色真空心脏"升级为“下一代真空平台"，持续推动制造业的低碳转型。

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