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    “0.1 µm 单级过滤 + 防静电链”日本Suiden SCV-110DP 洁净室专用吸尘器

    发布时间: 2025-12-03  点击次数: 6次
    在 ISO 5–ISO 8 级洁净厂房中,一颗 0.5 µm 的逃逸颗粒就可能让晶圆报废、药品批次召回。日本 Suiden(瑞电)推出的 SCV-110DP 干式洁净室专用吸尘器,以“ULPA 末端过滤 + 防静电整体链"双保险设计,将排气洁净度控制在 0.1 µm 99.999 % 以上,同时整机重量仅 10 kg,可 24 h 连续作业,为半导体、制药、食品行业提供了一款“即插即用"的微粉尘收集终端。
    一、工作原理:三级过滤 + 防静电链导走
    1. 一级 DP 主过滤器:聚酯特种覆膜滤芯,过滤面积 1.8 m²,可拦截 99 % 以上 0.3 µm 粒子,并支持手动抖尘,延长 ULPA 寿命
    2. 二级 ULPA 末端:日本原厂 U15 级超低压损滤材,对 0.1–0.2 µm 粒子捕集效率 ≥99.999 %,排气可直接排回 Class 100 区域,无需外接管道
    3. 防静电链:整机从吸嘴、软管到集尘桶全部导电材质一体成型,底部 10 cm 导静电链实时泄放,避免高速粉尘摩擦产生 3 kV 以上静电,降低爆燃风险
    4. 无刷涡轮:单相 100 V、1100 W 无刷电机,转速 32 000 rpm,真空度 23 kPa,噪音 ≤58 dB(A),满足 ISO 14644-1 对洁净室 ≤65 dB 的限值
    二、硬件结构亮点
    • 10 L 集尘桶:SUS304 镜面板,桶底快拆卡扣,30 s 整桶取下,可在洁净室外倾倒,杜绝二次扬尘;
    • Φ38 mm 大口径软管:内嵌不锈钢螺旋圈,耐扭结,对 0.3 µm 粒子内壁吸附率 < 1 %;
    • 万向刹车轮:前后 4 只 50 mm 导电 PU 轮,带脚踏刹车,可在 ≤10° 斜坡定位作业,推动噪音 < 45 dB;
    • 配件套装:子母接头、金属伸缩管、尖吸嘴、圆毛刷、小方刷、防静电地刷,一机覆盖设备表面、地面与缝隙;
    • 连续运行设计:电机绕组 H 级绝缘,外壳散热鳍片 + 风冷通道,24 h 不停机温升 < 40 K,满足三班制产线需求
    三、性能参数一览
    项目参数
    电源单相 100 V 50/60 Hz
    功率1100 W
    真空度23 kPa
    风量2.3 m³/min
    过滤等级DP 主滤 + ULPA U15
    0.1 µm 捕集率≥99.999 %
    噪音58 dB(A)
    集尘容量10 L
    整机重量10 kg
    防护等级IP54
    四、典型应用场景
    1. 半导体晶圆厂:设备维护时吸除金属腔体内部硅粉,排气直接排回 Class 1000 区域,无需外排管道,节省 30 % 建设成本
    2. 制药灌装线:生产换批间隙吸走 API 粉尘,避免交叉污染,满足 GMP 对“可见残留"零要求
    3. 食品烘焙车间:吸除生产线上的糖粉、面粉,防爆区 22 区使用,导静电链确保粉尘不积聚
    4. 航天复合材料车间:清理碳纤维碎屑,0.1 µm 过滤防止吸入肺泡,保障职业健康。
    六、操作与维护要点
    • 每日作业后轻按抖尘手柄 3–5 次,减少主滤压差,延长 ULPA 寿命;
    • 当真空度下降 > 15 % 时,检查 DP 滤芯是否堵塞,可水洗阴干后重复使用 2–3 次;
    • ULPA 滤芯每年更换一次,或压差 > 1.5 kPa 时更换,禁止水洗;
    • 导静电链每月检查接地电阻 < 1 Ω,防止锈蚀失效;
    • 长期不用请拔掉电源,将桶内粉尘清理干净,并用无尘布盖住吸入口,防止异物进入。
    结语
    Suiden SCV-110DP 以“ULPA 单级 0.1 µm 过滤 + 全链路防静电"把洁净室微粉尘控制浓缩进 10 kg 的推车式机身,实现 24 h 连续、58 dB 即插即排的高等级洁净维护
    。在半导体线宽不断缩小、制药洁净级别持续提升的今天,它正成为 ISO 5–ISO 8 区域日常保洁、设备维护、换线清场的“标配级"微粉尘


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