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日本ETEX非接触式在线真空蒸镀膜测厚仪技术解析与应用

发布时间： 2025-09-26　　点击次数： 40次

一、技术原理
日本ETEX非接触式在线真空蒸镀膜测厚仪基于光学原理，通过特定波长的光在材料中的透射率（光学密度）来测量镀膜厚度。其工作原理是：当光通过镀膜材料时，透射率与镀膜厚度成反比关系，即镀膜越厚，透射率越低，光学密度越高。该测厚仪利用这一原理，实时监测材料的光学透射率或光学密度，从而实现对镀膜厚度的精确测量。
二、技术特点
非接触式测量：采用光学非接触测量方式，无需与被测材料直接接触，避免了对材料的损伤，特别适用于对极薄膜层或易损坏材料的测量。
高精度与稳定性：具备高测量精度，能够提供稳定可靠的测试数据，确保测量结果的准确性。
实时在线监测：可实时在线测量镀膜厚度，帮助生产过程中及时掌握产品质量，提前发现问题并调整工艺，提高产品良品率。
灵活的测试点配置：用户可根据需要自由选择测试点的数量和位置，最多可定制45个测试点。
智能报警与控制：配备过限报警功能，可智能控制生产质量，减少对人工操作的依赖，提高生产效率和质量。
温度补偿功能：具备温度补偿功能，即使在高温环境下也能保持测量值的稳定。
自动与手动校准：提供自动校准和手动校准功能，用户可根据需求自行设置，确保测量的准确性。
模块化设计与维护：采用模块化设计，各模块通过航空插头连接，单点可拆卸，便于未来的维护和升级。
抗干扰与防尘设计：具有良好的抗干扰能力和防尘设计，能适应复杂的工业生产环境，只需定期清洁探头前玻璃即可。
通信与兼容性：配备RS485接口和MODBUS通信协议，可方便地与PLC、HMI、PC等设备连接，实现闭环控制。
三、应用领域
半导体行业：在半导体制造中，膜层厚度的均匀性和精准度对芯片性能至关重要。ETEX测厚仪能够确保每一层膜的厚度符合设计要求，从而提高芯片的性能与良品率。
光学行业：光学元件如镜头、滤光片等需要光学透过率和膜层均匀性。该测厚仪可以帮助光学工程师优化膜层设计，改善光学特性。
装饰行业：在装饰性镀膜如电镀、喷涂中，膜层厚度直接影响产品的外观和使用寿命。通过ETEX测厚仪，可以快速监测镀膜厚度，确保产品质量的稳定。
医疗器械行业：在医疗器械中，如植入物和手术工具的镀膜，不仅要求美观，更要保证安全与生物相容性。精准的膜厚控制有助于提升这些产品的性能。
玻璃制造：在玻璃涂层生产线上，ETEX测厚仪可实时检测玻璃的膜厚、均匀性和光透射率，避免生产出不符合国家标准的玻璃产品，减少损失，提高生产效率。
铝箔镀膜：在铝箔真空镀铝过程中，该测厚仪能够一次性检测大量、宽幅和长尺寸的铝箔，实现在线自动测试、实时数据监测、超限报警以及与镀膜机的RS485通信，为镀膜机的闭环控制提供设备支持。
硫化锌薄膜检测：硫化锌薄膜主要通过热蒸发制备，ETEX测厚仪利用光学密度与膜厚成比例的原理，通过监测硫化锌薄膜的光学透射率（光学密度）来实现对其均匀性的监控。
铜镀膜检测：在柔性基材（如PET等材料）上通过磁控溅射镀膜机沉积高纯无氧铜导电层时，ETEX测厚仪可以帮助实时了解镀膜情况，并实时调整镀膜机的工艺参数，节省时间和成本。
日本ETEX非接触式在线真空蒸镀膜测厚仪以其独特的优势和广泛的应用领域，在现代工业生产中发挥着重要作用，为提高产品质量和生产效率提供了有力的技术支持。

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日本ETEX非接触式在线真空蒸镀膜测厚仪技术解析与应用

一、技术原理

二、技术特点

三、应用领域