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日本HORIBA堀场隔膜式真空计VG-200S：高精度真空测量

发布时间： 2025-10-13　　点击次数： 6次

在现代工业生产中，精确的压力测量对于许多工艺流程至关重要，尤其是在真空环境下的应用。日本HORIBA堀场推出的隔膜式真空计VG-200S，以其高精度、高稳定性和紧凑设计，成为众多行业的理想选择。
一、VG-200S的核心技术与特点
（一）电容式测量原理
VG-200S采用电容式测量原理，通过检测膜片两侧压力差引起的位移量来测量压力。这种原理使得VG-200S在测量精度和稳定性上表现出色，同时对气体类型具有独立性，不受气体种类影响。
（二）高精度与高稳定性
VG-200S的测量精度包括非线性、滞后性和不可重复性在内的总误差为0.25%R.S.，分辨率达到0.01%F.S。其独特的电极结构和自动温度控制功能，确保了在不同环境下的稳定性能。
（三）紧凑设计与自动温度控制
VG-200S具有紧凑的自加热设计，尺寸小巧，便于安装和使用。自动温度控制功能使其能够在不同环境温度下保持稳定的测量性能，这对于一些对温度敏感的应用尤为重要。
（四）耐腐蚀性与耐用性
VG-200S的隔膜等气体接触部件采用SUS316L材质，具有良好的耐腐蚀性，能够在苛刻的工业环境中长期稳定运行。
（五）一键归零与用户友好性
VG-200S配备一键归零功能，简化了操作流程，提高了使用的便捷性。此外，其电源要求为±15VDC或24VDC，兼容性强，符合CE和RoHS标准。
二、VG-200S的应用领域
（一）半导体制造
在半导体制造过程中，精确的压力控制对于保证产品质量至关重要。VG-200S的高精度和稳定性使其成为半导体制造中真空工艺的理想选择。
（二）平板显示器与光伏面板
在平板显示器和光伏面板的生产中，VG-200S能够精确测量工艺腔室内的气体压力，确保生产过程的顺利进行。
（三）真空技术
在真空镀膜、真空冶金等真空技术领域，VG-200S的高精度和高稳定性为工艺的精确控制提供了坚实的保障。
（四）化工行业
化工生产中常常涉及各种腐蚀性介质，VG-200S的耐腐蚀性能使其能够有效抵御化学腐蚀，延长设备使用寿命，同时提供可靠的压力测量数据。
三、总结
日本HORIBA堀场的隔膜式真空计VG-200S以其高精度、高稳定性、紧凑设计和良好的耐腐蚀性，成为现代工业中真空压力测量的可靠选择。无论是在半导体制造、平板显示器、光伏面板生产还是化工和真空技术领域，VG-200S都能为工艺控制和质量保证提供有力支持。

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日本HORIBA堀场隔膜式真空计VG-200S：高精度真空测量

一、VG-200S的核心技术与特点

（一）电容式测量原理

（二）高精度与高稳定性

（三）紧凑设计与自动温度控制

（四）耐腐蚀性与耐用性

（五）一键归零与用户友好性

二、VG-200S的应用领域

（一）半导体制造

（二）平板显示器与光伏面板

（三）真空技术

（四）化工行业

三、总结