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日本Tem-Tech半导体CMP浆料用压力传感器SE3000：高精度耐腐蚀

发布时间： 2025-07-31　　点击次数： 11次

在半导体制造过程中，化学机械抛光（CMP）工艺对压力控制的精度和可靠性有着要求。日本Tem-Tech的SE3000压力传感器凭借其高精度、耐腐蚀的特性，成为CMP浆料压力监测的理想选择。
高精度测量
SE3000压力传感器具备高精度的测量能力，其综合精度可达±1%FS（满量程），能够确保在CMP工艺中对浆料压力的精确控制。这种高精度测量对于保证晶圆表面的平整度和抛光质量至关重要。
耐腐蚀设计
该传感器采用PFA（全氟烷氧基）一体成型的气球结构，接触液部分未使用金属或O形圈，因此非常适合强酸和强碱等腐蚀性流体的测量。这种设计不仅解决了传统气球结构可能导致的污染和离子问题，还提高了传感器在恶劣化学环境中的使用寿命。
广泛的测量范围与灵活的输出选项
SE3000支持多种测量范围，包括-0.1至1MPa，能够满足不同CMP工艺的压力监测需求。此外，该传感器还提供多种输出信号选项，如4～20mADC（2线式）、0～5VDC、1～5VDC、0～10VDC（3线式），方便与各种控制系统集成。
可靠性与维护
SE3000具备坚固的双层隔膜设计，能够承受高达1MPa的压力。同时，传感器配备了泄漏指示器，可及时通知用户更换时间，确保设备的可靠运行。
应用场景
SE3000广泛应用于半导体制造中的CMP工艺，用于监测浆料的压力，确保抛光过程的稳定性和一致性。其耐腐蚀特性和高精度测量能力使其成为半导体制造中的监测设备。
总结
日本Tem-Tech的SE3000压力传感器以其高精度、耐腐蚀的特性，为半导体CMP工艺提供了可靠的解决方案。无论是应对强酸强碱的化学环境，还是实现精确的压力控制，SE3000都能满足用户对高质量半导体制造的需求。

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日本Tem-Tech半导体CMP浆料用压力传感器SE3000：高精度耐腐蚀

高精度测量

耐腐蚀设计

广泛的测量范围与灵活的输出选项

可靠性与维护

应用场景

总结