一、日本 TECHNO MU TTS2100 非接触式薄膜 / 镀层厚度测定装置 商品基础档案
| 项目 | 详细内容 |
|---|---|
| 品牌厂商 | TECHNO MU（株式会社テクノミュー，日本专业精密光学测量设备制造商） |
| 完整产品名称 | TTS2100 非接触式薄膜/镀层厚度测定装置 |
| 产品别名 | 激光非接触测厚仪、光学无接触膜厚检测仪、多层薄膜无损厚度测量机、透明薄片镀层厚度测定设备 |
| 产品分类 | 激光光学干涉式非接触薄膜、镀层厚度精密检测设备 |
| 适用行业 | 光学薄膜、半导体镀膜、精密塑胶薄片、锂电池隔膜、光学镜片镀层、医用薄膜、电子涂层零部件质检实验室 |
| 适配检测试样 | 单层/多层透明薄膜、透光光学镀层、锂电池超薄隔膜、软质塑胶薄片、镀膜光学镜片；可检测单层厚度、总膜厚、多层分层独立厚度、样品厚度均匀性分布 |
| 出厂标准配置 | TTS2100测厚测量主机、高精度激光干涉光学测厚探头、XY双轴伺服电动平移载物台、配套工业工控显示单元、薄膜镀层厚度专用光谱分析软件、设备操作手册、原厂整机精度校准证书、标准厚度校准薄膜片、配套供电线缆、信号传输数据线、设备防尘外罩 |
| 可选拓展配件 | 工件自动旋转分度工装、大行程拓展载物台、高透光超薄样品专用光学镜头、自动化产线机械手对接接口、MES生产管理系统数据对接插件、恒温防尘防护机柜、批量样品自动多点测厚程序模块 |
二、日本 TECHNO MU TTS2100 非接触式薄膜 / 镀层厚度测定装置 商品核心上架关键词
标题关键词：TECHNO MU TTS2100非接触厚度测定装置
功能关键词：激光无接触薄膜厚度测量、多层镀层无损膜厚检测
应用关键词：光学薄膜、半导体镀膜、锂电池隔膜、镜片镀层测厚设备
产品特性关键词：非接触不伤薄膜、多层分层测厚、电动自动扫描
拓展关键词：日本TECHNO MU TTS2100、光学非接触膜厚仪
三、产品简介
TTS2100是日本TECHNO MU打造的激光干涉光谱式一体化非接触测厚设备，专门针对各类透光薄膜、光学镀层、超薄软质隔膜开发，区别于接触式、涡流、X射线测厚设备，依靠纯光学激光干涉原理完成厚度检测，全程无任何硬质探头、测头触碰样品表面。
针对超薄软胶薄膜、锂电池隔膜、光学镀膜镜片这类易挤压形变、表面易刮伤、镀层易磨损的工件，传统接触式测厚设备会压薄样品、划伤镀膜，造成样品报废；本设备规避物理接触带来的样品损伤问题，各类高精密透光薄膜、镀层均可无损完成厚度检测。
设备核心搭载XY双轴闭环伺服电动平移载物台，定位重复精度高，可自定义多点扫描点位、扫描间距，全自动移动样品完成全域多点厚度采集，无需人工手动移动样品，标准化检测流程消除人工定位误差。激光探头垂直发射宽谱激光照射透光样品，激光分别在薄膜上表面、层间界面、下表面发生反射，多束反射光产生干涉光谱；设备内置高精度光谱传感器采集干涉波形，配套专用分析软件解析光谱特征，自动换算每一层薄膜独立厚度、样品总厚度，同时生成样品表面厚度分布云图，直观展示薄膜厚薄均匀性。
整机采用高刚性减震铝合金机架，自带防滑减震支撑脚垫，隔绝实验室电机、冲压设备轻微震动对光谱采集精度的干扰；出厂成套配备工业工控显示单元与完整正版膜厚分析软件，整机接线、简单精度校准后即可直接开展检测工作，无需额外采购配套电脑与程序。设备适配中小型工厂质检室、光学/新能源研发实验室场地条件，广泛用于光学PET薄膜来料厚度全检、镜头光学镀层成品抽样检测、锂电池隔膜厚度均匀性测试、多层复合光学薄膜分层厚度研发对比、半导体晶圆镀膜厚度管控。
四、核心工作原理
激光干涉光谱厚度采集原理 设备宽谱激光发射头输出连续波段激光垂直照射透光薄膜样品，激光会在薄膜空气上界面、多层薄膜层间界面、薄膜基底下界面分别发生反射；多束反射激光回传至设备光谱传感器后产生干涉波形，不同薄膜厚度对应干涉光谱曲线，软件通过匹配光谱特征计算各分层厚度与总膜厚。
XY双轴电动全自动多点扫描原理 X/Y水平双轴搭载伺服驱动平移机构，控制系统可自定义检测区域、多点扫描点位、点位间距；载物台带动样品自动移动至预设检测点位，激光探头依次完成各点位光谱采集，全程无需人工手持移动样品，统一扫描点位标准，批量样品厚度数据一致性更高。
膜厚数据解析与报表生成原理 工控显示单元接收设备传输的原始干涉光谱数据，膜厚分析软件自动完成光谱降噪、基线校正、分层光谱拆分；自动计算每一层薄膜独立厚度、样品总厚度，生成二维厚度分布云图展示厚薄差异；全部厚度数值、光谱曲线、厚度云图实时可视化展示，支持一键导出标准化PDF检测报告与Excel原始厚度数据表格。
