一、Canon Anelva M‑311HG 热阴极电离真空计（电离规探头） 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Canon Anelva M-311HG 热阴极电离真空规探头 |
| 测量原理 | Bayard-Alpert热阴极电离法 |
| 核心用途 | 狭小安装空间的腔体高/超高真空传感，外接测控主机输出真空数据 |
| 典型应用 | 真空光谱仪、SEM/XPS分析设备、小型实验镀膜设备、离子泵真空系统 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 测量量程 | 10⁻¹ Pa ~ 10⁻⁸ Pa |
| 安装接口 | KF16标准快拆法兰，体积小巧 |
| 腔体材质 | 低放气硼硅玻璃 |
| 适配设备 | M系列Anelva真空计控制器 |
| 拓展配件 | 加长线缆、转接法兰、灯丝套件可选 |
三、Canon Anelva M‑311HG 热阴极电离真空计（电离规探头） 产品核心特点
1.小型化结构适配狭窄安装位
整体尺寸远小于常规电离规，可安装在腔体侧壁、细支管，解决紧凑型真空设备开孔受限的难题。
2.成熟电离架构测量精度稳定
沿用安内尔巴成熟电离检测设计，超高真空区间线性表现优异，满足精密科研、工艺测控要求。
3.低放气腔体适配无油真空系统
玻璃腔体出气量极低，适配离子泵抽取的超高真空环境，不会污染腔体内部。
4.兼容现有M系列控制器，改造成本低
可直接对接已有真空计主机，仅更换探头即可完成设备升级。
四、适用行业场景
真空光学：紧凑型真空光谱、单色仪设备；
表面分析：扫描电镜、光电子能谱仪真空腔；
实验镀膜：小型磁控溅射、蒸发设备；
离子泵系统：校正离子泵推算的真空读数。
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