一、Canon Anelva 前级疏水阀（真空泵配套） 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Canon Anelva 前级疏水阀（真空泵配套） |
| 设备类型 | 前级管路气液分离排液阀 |
| 核心用途 | 收集排出管路冷凝的泵油、水汽，阻挡油水回流污染分子泵、真空腔体、真空测量元件 |
| 典型应用 | 真空镀膜、半导体工艺、真空热处理、真空光学设备的机械泵前级管路 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 阀体材质 | 不锈钢，耐真空泵油、冷凝水腐蚀 |
| 控制方式 | 液位传感器自动控制启闭，预留手动应急排液结构 |
| 安装方式 | 真空法兰串联接入前级抽气管路 |
| 信号输出 | 液位开关量信号，可对接PLC、真空泵控制柜实现联锁报警 |
| 拓展配件 | 废液收集罐、手动旁路阀、转接法兰可选 |
三、产品核心特点
1. 阻挡油水回流，保护昂贵真空设备
收集管路内冷凝泵油、水汽并排出，避免液体倒灌进入分子泵、离子泵、工艺腔体，减少核心精密部件损坏风险。
2. 全自动液位排液，适配无人化产线
液位到达阈值自动排水，排完闭合保压；积液超标输出报警信号，联动泵组做保护动作。
3. 气液分离缓冲，降低后端油汽负载
扩容阀腔降低气流流速，促进油雾、水汽冷凝析出，大幅减少进入高真空段的挥发性介质，延长真空规、离子泵使用寿命。
4. 管路加装便捷，适配旧设备改造
直接串联在前级管道，无需改动主腔体结构，兼容安内尔巴各类真空阀、真空计。
5. 模块化设计维护成本低
传感器、密封件可单独更换，无需整体更换阀体；废液集中收集便于环保处置。
四、适用行业场景
真空镀膜：前级泵油气、工艺水汽分离排出；
半导体：刻蚀沉积设备真空泵路防护；
真空热处理：工件析出水汽的管路收集排放；
真空光学：隔绝泵油污染光学腔体内部元件。
