一、Canon Anelva P-500 Noble 离子泵控制装置 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Canon Anelva P-500 Noble离子泵控制装置 |
| 设备类型 | 溅射离子泵高压驱动测控电源 |
| 核心用途 | 为Noble离子泵提供高压供电，监测真空、输出联锁信号，搭建无油超高真空系统 |
| 典型应用 | 表面分析仪器、真空光学设备、半导体工艺、特种精密镀膜 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 安装形式 | 标准工业机架式，支持机柜内嵌、台式摆放 |
| 高压特性 | 软启动稳压限流输出，适配Noble离子泵工况 |
| 检测能力 | 采集离子泵放电电流，换算并显示真空度 |
| 信号输出 | 0-10V模拟量、RS232/RS485、多路继电器报警联锁 |
| 安全保护 | 过压、过流、电弧打火、泵体过热多重保护 |
| 拓展配件 | 多泵联动模块、上位机采集软件、远程控制套件可选 |
三、产品核心特点
1.软启动高压输出，延长离子泵使用寿命
开机平缓升压、输出限流，抑制冲击电流与电弧打火，降低离子泵阴阳极损耗，适配长期不间断抽真空工况。
2.依托泵电流自测真空，精简硬件配置
直接通过离子泵电流推算真空数值并展示，日常巡检无需额外真空计；高精度工况可搭配电离真空计校准补偿。
3.丰富工业联锁适配自动化系统
可联动真空阀、工艺电源，真空达标解锁工序、泵故障紧急停机锁止流程，适配量产与科研自动化场景。
4.标准机架布局，集成便捷
可和真空计等测控设备统一装入控制柜，布线规整，适配工业化集成需求。
5.全面电气防护，规避系统重大故障
检测到打火、过流等异常立刻切断高压，输出告警，保护昂贵的离子泵与腔体内部工件。
四、Canon Anelva P-500 Noble 离子泵控制装置 适用行业场景
表面分析：XPS、SEM等分析设备离子泵驱动；
真空光学：真空光谱仪、单色仪无油超高真空获取；
半导体：沉积、离子注入工艺真空维持；
精密镀膜：低油污光学薄膜制备真空系统。
