一、Canon Anelva M‑833HG 宽量程电离真空计 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Canon Anelva M-833HG 宽量程电离真空计 |
| 测量原理 | Bayard-Alpert热阴极电离法 |
| 核心用途 | 工业场景高真空、超高真空压强监测，联动阀门、泵组、工艺电源实现自动化生产 |
| 典型应用 | 半导体工艺、连续真空镀膜、表面分析仪器、工业化真空热处理、新能源真空生产 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 测量量程 | 10⁻¹ Pa ~ 10⁻⁹ Pa，宽区间连续测量 |
| 安装形式 | 标准工业机架式，可内嵌控制柜，也可台式放置 |
| 信号输出 | 0-10V模拟量、RS232/RS485串口、多路可编程继电器报警 |
| 安全机制 | 多级灯丝真空骤降保护，可输出联锁信号关停工艺设备 |
| 规管接口 | KF16/KF25通用快拆法兰 |
| 拓展配件 | 多通道采集模块、上位机软件、耐腐蚀电离规可选 |
三、产品核心特点
1.工业级温漂补偿，适配全天候量产运行
专属温度补偿电路抵消车间温度波动带来的测量误差，可以长时间不间断工作，满足产线连续生产需求。
2.工艺联锁，对接工厂自动化系统
多路继电器、工业串口可对接PLC、MES系统，依据真空度管控阀门、电源，生产数据可归档溯源，规避工艺事故。
3.机架式集成设计，适配工控机柜布局
适配通用机柜开孔，方便产线集中布置测控设备，也可台式用于中试研发设备。
4.多级灯丝防护，减少工业耗材损耗
除基础漏气断电保护外，可联动进气阀建立泄压逻辑，从流程上规避大气冲击灯丝，延长规管使用寿命。
5.通用KF接口，生态兼容性强
兼容安内尔巴全系列电离规，可和同品牌真空阀、电容真空计、检漏仪无缝配套使用。
四、Canon Anelva M‑833HG 宽量程电离真空计 适用行业场景
半导体制造：刻蚀、沉积腔体超高真空测控；
工业镀膜：连续溅射生产线真空管控；
精密分析：XPS、SEM等科研仪器真空测量；
新能源生产：真空退火、真空封装设备检测。
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