一、Canon Anelva M‑431HG 宽量程电离真空计 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Canon Anelva M-431HG 宽量程电离真空计 |
| 测量原理 | Bayard-Alpert热阴极电离法 |
| 核心用途 | 高真空、超高真空宽范围压强监测，联动真空阀、泵组实现工艺管控 |
| 典型应用 | 真空镀膜、半导体工艺、真空光学仪器、表面分析设备、真空热处理 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 测量量程 | 10⁻¹ Pa ~ 10⁻⁹ Pa，宽区间连续测量 |
| 安装形式 | 台式、标准机架嵌入式两用 |
| 信号输出 | 0-10V模拟量，可选RS232/RS485、多路继电器报警 |
| 安全机制 | 真空骤降自动关断灯丝，保护电离规阴极 |
| 规管接口 | KF16/KF25通用快拆法兰 |
| 拓展配件 | 备用规管、机架套件、上位机采集软件可选 |
三、产品核心特点
1.宽量程一体化测量，精简真空管路
优化电离检测结构，单支规管即可覆盖很宽的超高真空区间，搭配电容薄膜真空计就能搭建完整测量链路，减少真空腔体开孔、规管数量，降低系统建设成本。
2.智能灯丝防护，降低耗材损耗
腔体突发漏气真空恶化时，控制器立刻切断灯丝供电，避免离子冲击烧毁阴极，显著延长电离规使用寿命，适配工况波动大的工业产线。
3.双形态安装，适配实验室与工业场景
既可直接放置实验台面使用，也能嵌入工业控制柜集中管控，兼顾科研小试、量产工艺需求。
4.丰富联锁输出，对接真空阀实现自动化
多档真空阈值继电器可联动气动隔离阀、进气阀、真空泵；数字通讯对接上位机、PLC，实现全自动抽气、镀膜工艺流程。
5.通用KF接口，备件兼容性强
规管法兰兼容Anelva同系列真空测量部件，备件采购、旧设备改造适配简单。
6.低电磁干扰，适配精密光学设备
信号、供电做屏蔽处理，运行不会干扰真空腔内光电探测器，适配真空光谱仪这类高精度仪器。
7.分体模块化，维护成本低
规管老化污染后单独更换即可，主控器长期复用，减少整体设备更换支出。
四、Canon Anelva M‑431HG 宽量程电离真空计 适用行业场景
真空镀膜：溅射、蒸发腔体高真空在线监测；
半导体：刻蚀、沉积腔体超高真空工艺测控；
真空光学：真空单色仪、红外光谱仪真空采集；
新能源：真空退火、光催化反应舱真空检测；
表面分析：SEM、XPS分析设备配套真空测量；
高校科研：真空测量相关教学实验。
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