一、Canon Anelva M-361CP 冷阴极皮拉尼复合真空计 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Canon Anelva M-361CP 冷阴极皮拉尼复合真空计 |
| 测量原理 | 皮拉尼热电阻 + 冷阴极电离复合测量 |
| 核心用途 | 常压到超高真空全区间压强监测，用于镀膜、半导体、真空热处理设备 |
| 典型应用 | 磁控溅射镀膜、半导体刻蚀沉积、真空退火炉、真空反应舱 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 测量量程 | 10⁵ Pa ~ 10⁻⁸ Pa，单设备覆盖全真空段 |
| 探头接口 | KF16/KF25通用快拆法兰 |
| 信号输出 | 0-10V模拟量，可选RS232/RS485、多路继电器报警 |
| 关键结构 | 冷阴极无灯丝，耐受腔体突发进气冲击，不易损坏 |
| 拓展配件 | 通讯模块、机架套件、上位机采集软件可选 |
三、产品核心特点
1.双原理集成，单探头实现全量程测量
整合皮拉尼、冷阴极两套检测单元，设备依据真空度自动切换测量模式，无需安装多支真空规，减少腔体开孔、泄漏点，降低系统搭建成本。
2.冷阴极无灯丝设计，抗冲击能力远超热阴极产品
不存在易烧毁的加热灯丝，腔体意外漏气通入大气也不会直接损坏探头，适配频繁泄压的工业产线，大幅减少耗材更换。
3.耐工艺污染，适配镀膜半导体恶劣工况
对金属微粒、油蒸气耐受度更高，维护周期更长，适合溅射、等离子刻蚀这类会产生污染物的工艺场景。
4.自动量程切换，使用便捷易集成
低压用皮拉尼、高真空用冷阴极，全程连续输出压强数据，对接PLC即可实现全自动工艺管控。
5.兼容安内尔巴全系真空配件
标准KF法兰可直接搭配同品牌真空阀、氦检仪，新旧真空设备改造适配简单。
四、适用行业场景
真空镀膜：溅射、蒸发设备全流程真空监控；
半导体：刻蚀、沉积腔体宽量程真空测控；
真空热处理：真空烧结、退火炉真空检测；
科研平台：一套设备完成多类真空实验测量。
相关文章
