一、Canon Anelva 手动真空进气阀 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Canon Anelva 手动真空进气阀（放气入口阀） |
| 驱动形式 | 顶部手轮螺杆手动调节阀芯开度 |
| 核心用途 | 真空腔体缓慢泄压、微量通入空气/工艺气体，调控腔体内压强 |
| 典型应用 | 真空镀膜、真空光学仪器、半导体腔体、真空热处理、科研真空实验平台 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 阀体材质 | 真空级不锈钢，内壁抛光、低气体析出 |
| 调节特性 | 精细微调，可实现微流量进气，也可全开泄压 |
| 安装方式 | 法兰固定式安装于腔体或管路 |
| 适用介质 | 空气、氮气、氩气等惰性工艺气体 |
| 拓展配件 | 转接法兰、进气过滤器、气动改造组件可选 |
三、产品核心特点
1.精密手动微调进气，防护腔内精密构件
可缓慢进气泄压，规避大通径球阀快速冲气冲击光学镜片、真空规灯丝、镀膜靶材，适配精密真空系统使用需求。
2.不锈钢低放气结构，适配高真空环境
阀体真空级抛光处理，出气量极低，阀门关闭密封可靠，不会破坏腔体极限真空。
3.一阀两用，兼顾工艺补气、检修泄压
小幅调节阀芯可通入微量工艺气体调整腔内气压；全开即可完成腔体泄压开盖检修。
4.无需外接气源电力，部署灵活
纯机械手动结构，不用布置气管、电线，老旧真空设备改造加装难度很低。
5.易维护模块化密封结构
密封件可单独更换，不用整体更换阀门，降低长期运维开销。
6.可搭配气动隔离阀构建完整气路
抽真空关闭进气阀；泄压先关抽气隔离阀，再开进气阀，形成成熟可靠的真空气路逻辑。
四、适用行业场景
真空镀膜：微调氩气分压、腔体缓慢泄压；
真空光学：真空光谱仪、单色仪腔体泄压保护光学元件；
半导体制造：小型腔体通入保护气体、泄压检修；
新能源研发：真空退火、光催化舱气压调控；
高校实验：真空系统调压、泄压教学试验。
