日本dip coater膜厚计AFW-100W
使用反射光谱膜厚计用于膜厚测量应用,例如硬涂层。
[机理] 当
样品受到光照射时,它会根据膜厚显示出*的光谱。薄膜表面反射的光与穿过薄膜并在基板表面反射的光相互干扰。当光的相位匹配时,强度增加,而当光相移时,强度降低。反射计是一种通过分析该光谱来测量薄膜厚度的方法。
[优点] -
与 SEM 和触针式轮廓仪不同,无需接触即可进行测量。
- 与椭偏仪相比,便宜且易于使用。
将来也可以安装在量产设备中。
日本dip coater膜厚计AFW-100W
模型 | AFW-100W |
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用 | 对于一般膜厚 |
设备配置 | 单元主体、测量台、2 分支光纤 (1.5m)、PC |
测量波长范围 | 380-1050nm |
膜厚测量范围 | 100nm~1μm(曲线拟合法) |
1 μm 至 60 μm (FFT) | |
测量再现性 | 0.2%-1%(视胶片质量而定) |
测量光斑直径 | 约7mm |
光源 | 12V-50W卤素灯 |
测量理论 | 曲线拟合法/FFT法 |
外形尺寸 (mm) | 测量台:W150 x D150 x H115 |
机身:W230 x D230 x H135 | |
大约重量 | 5.5kg * 不包括 PC |
公用事业 | AC100V 50 / 60Hz |
轰天猛将 | 卤素灯 |
显微分光膜厚仪
通过使用显微镜,可以测量具有过去无法测量的不规则性的电子元件和曲面透镜。
姓名 | 显微分光膜厚仪 |
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设备配置 | 显微镜、单元主体、光纤 (1m)、PC |
显微镜 | 奥林巴斯金相显微镜 |
测量波长范围 | 380-700nm |
膜厚测量范围 | 50nm-1.5μm (C/F) |
1.5 μm 至 50 μm (FFT) | |
测量再现性 | 0.2%-1%(视胶片质量而定) |
测量光斑直径 | Φ6 μm 至 Φ120 μm |
光源 | 12V-100W卤素灯 |
测量理论 | 曲线拟合法/FFT法 |
外形尺寸 (mm) | 显微镜:W317.5 x D602 x H480 |
机身:W230 x D230 x H135 | |
大约重量 | 25kg * 不包括 PC |
公用事业 | AC100V 50 / 60Hz |
轰天猛将 | 卤素灯 |
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