日本uv-asumi研发用扫描型准分子辐照装置
它是一种将主波长为 172 nm 的准分子照射单元、扫描台和臭氧分解装置集成在一起的设备,只需 100 V 电源即可进行简单安全的准分子表面改性实验。
【特征】
扫描阶段可以处理比以前更大的区域。
配备臭氧分解装置,无需排气设备。
日本uv-asumi研发用扫描型准分子辐照装置
研发用扫描型准分子辐照装置 | |
模型 | ASM86准分子 |
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发射波长 | 172nm |
待处理对象 | W86mm x D120mm 以下,厚度 40mm 以下 |
照射距离调整 | 带有用于调节的实验室千斤顶(可变照射距离从 0 到 40 mm) |
外形尺寸 | 机身:(W) 432 mm x (D) 510 mm x (H) 520.5 mm(不包括突出部分) |
大约重量 | 约 25 kg(主体 20 kg,照射单元 4.8 kg) |
机身材质 | SUS304 / A5052P / SPCC |
辐照单元 | |
灯具制造商 | 滨松光电株式会社制造 |
模型 | 平面准分子 EX-86U L13129 |
辐照强度 | 65mW/cm2 |
照射面尺寸 | 推荐 86mm x 40mm 准分子有效照射距离 5mm 以内 |
冷却方式 | 强制风冷 |
运输科 | |
表材 | A5052P(带对齐狭缝) |
遮光罩 | PVC(UV cut黄色) |
处理速度 | 0.1mm/秒-120mm/秒 |
加工活动范围 | 240mm |
其他 | |
触控面板 | 4英寸单色触摸屏 |
食谱数量 | 20个配方(加工速度和照射时间可设置) |
监控功能 | 具有当前速度/当前位置/剩余时间显示功能 |
臭氧排气设备 | 内置臭氧催化剂(强制风扇排气) |
公用事业 | AC100V 50 / 60Hz 400VA |