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日本uv-asumi研发用扫描型准分子辐照装置

日本uv-asumi研发用扫描型准分子辐照装置

更新日期:2021-10-12

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厂商性质:经销商

生产地址:

简要描述:
日本uv-asumi研发用扫描型准分子辐照装置
它是一种将主波长为 172 nm 的准分子照射单元、扫描台和臭氧分解装置集成在一起的设备,只需 100 V 电源即可进行简单安全的准分子表面改性实验。

日本uv-asumi研发用扫描型准分子辐照装置

它是一种将主波长为 172 nm 的准分子照射单元、扫描台和臭氧分解装置集成在一起的设备,只需 100 V 电源即可进行简单安全的准分子表面改性实验。

【特征】

  • 扫描阶段可以处理比以前更大的区域。

  • 配备臭氧分解装置,无需排气设备。

  • 日本uv-asumi研发用扫描型准分子辐照装置

研发用扫描型准分子辐照装置
模型ASM86准分子
发射波长172nm
待处理对象W86mm x D120mm 以下,厚度 40mm 以下
照射距离调整带有用于调节的实验室千斤顶(可变照射距离从 0 到 40 mm)
外形尺寸机身:(W) 432 mm x (D) 510 mm x (H) 520.5 mm(不包括突出部分)
大约重量约 25 kg(主体 20 kg,照射单元 4.8 kg)
机身材质SUS304 / A5052P / SPCC
辐照单元
灯具制造商滨松光电株式会社制造
模型平面准分子 EX-86U L13129
辐照强度65mW/cm2
照射面尺寸推荐 86mm x 40mm
准分子有效照射距离 5mm 以内
冷却方式强制风冷
运输科
表材A5052P(带对齐狭缝)
遮光罩PVC(UV cut黄色)
处理速度0.1mm/秒-120mm/秒
加工活动范围240mm
其他
触控面板4英寸单色触摸屏
食谱数量20个配方(加工速度和照射时间可设置)
监控功能具有当前速度/当前位置/剩余时间显示功能
臭氧排气设备内置臭氧催化剂(强制风扇排气)
公用事业AC100V 50 / 60Hz 400VA




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