日本 CANON ANELVA 佳能安内华 M-311HG 热阴极电离真空计离子计 1. 产品概述
CANON ANELVA M-311HG 热阴极电离真空计（イオンゲージ），是一体式传感器型离子真空计，把电离规管与驱动电路集成在同一个壳体，区别于传统分体离子规，布线与安装更简单。依靠热阴极发射电子电离真空腔内气体分子，通过收集离子电流换算真空压力，适合高真空、超高真空区间检测，是真空镀膜、半导体工艺、分析仪器里用来监测极限真空的经典型号。
日本 CANON ANELVA 佳能安内华 M-311HG 热阴极电离真空计离子计 2. 产品核心特点
宽量程超高真空测量：测量范围 1×10⁻⁷ Pa ～ 10 Pa，覆盖高真空至超高真空区间。
优异重现性与线性：读数稳定，重复性好，适合工艺真空监控、长期制程监测。
一体式变送器结构：规管 + 驱动电路一体化，体积小巧，节省真空柜安装空间。
标准模拟信号输出，方便接入工控、PLC、真空显示器，支持真空联锁保护。
直流供电 DC20~28V，工业真空设备供电适配性好。
标准 KF 法兰接口，拆装方便，适配常规真空管路。
两个子型号：M-311HG-SP、M-311HG-RS，输出定义略有区别，按需选型。
3. 规格参数表
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 品牌 | CANON ANELVA 佳能安内华（日本） |
| 型号 | M-311HG（SP / RS） |
| 设备类型 | 热阴极电离真空计（离子计 / Ion Gauge） |
| 测量原理 | 热阴极电离法 |
| 压力测量范围 | 1×10⁻⁷ Pa ～ 10 Pa |
| 供电电压 | DC 20～28V |
| 信号输出 | 模拟电压输出 |
| 接口形式 | KF 标准真空法兰 |
| 结构形式 | 一体式传感器（变送器型） |
| 适用领域 | 高真空、超高真空腔体 |
4. 应用场景
半导体设备：离子注入、刻蚀、薄膜沉积腔体本底真空监测
真空镀膜：溅射、蒸发镀膜机极限真空检测
科研仪器：分析设备、表面分析仪器、实验真空腔体
真空热处理、真空钎焊、航天部件真空测试
真空设备出厂检测、真空系统检漏辅助判断
