日本 Thermo Riko PK361 全压型真空计 产品概述
PK361全压型真空计是日本Thermo Riko(株式会社サーモ理工)推出的全量程复合真空测量设备,由真空传感探头与数字显示控制器组成。融合皮拉尼规与冷阴极电离规测量原理,单支探头实现大气压至超高真空范围连续测量,为真空加热实验、小型超高真空腔体提供稳定真空数据监测,是GV系列真空红外加热装置配套测量设备。
产品核心优势
超宽连续测量量程:一支探头覆盖常压~5×10⁻⁹ Pa,无需多规格真空规组合安装
冷阴极无灯丝结构:不存在灯丝烧毁风险,腔体意外进气冲击不易损坏,长期运行稳定性强
ICF70金属密封法兰:无橡胶密封圈,放气率低,满足超高真空、高洁净实验要求
测量模式自动切换:设备根据真空区间自动切换皮拉尼/冷阴极测量,无需人工干预
分体式布局:探头安装腔体,控制器放置操作台,布线灵活便于读数操作
支持信号输出与报警:具备真空阈值报警功能,可与真空机组实现系统联锁控制
探头支持高温烘烤除气,适配严苛超高真空实验工艺
技术参数
| 项目 | PK361 参数 |
|---|---|
| 设备型号 | PK361 |
| 测量范围 | 大气压 ~ 5×10⁻⁹ Pa |
| 测量原理 | 皮拉尼规 + 冷阴极电离规 复合式 |
| 连接法兰 | ICF70 金属密封法兰 |
| 探头尺寸(不含法兰) | 44 × 44 × 102 mm |
| 控制器外形尺寸 | 71 × 129 × 219 mm |
| 显示功能 | 液晶显示屏,多压力单位切换 |
| 附加功能 | 模拟信号输出、真空上下限报警 |
| 供电电源 | AC100V |
典型应用场景
搭配HC80V真空机组+GV系列真空红外加热装置,真空原位加热实验真空监测
材料真空热处理、热冲击测试腔体真空监控
MEMS、半导体微小器件真空测试平台
薄膜制备、表面分析小型超高真空腔体
各类需要全程连续真空监测的科研真空系统
日本 Thermo Riko PK361 全压型真空计 整机配置清单
真空测量传感探头(红色主体)
数字显示控制单元
探头与控制器连接信号线
ICF标准安装法兰配件






