HC80V 一体式高真空排气装置

日本 Thermo Riko HC80V 一体式高真空排气装置 产品概述

HC80V高真空排气装置是日本Thermo Riko（株式会社サーモ理工）推出的集成一体式真空机组，设备整合干式前级真空泵、涡轮分子泵、驱动控制系统、真空监测模块于单一机箱。无需分开选配泵体与控制器，整机成套出厂，可直接对接小型真空腔体，是GV系列真空红外导入加热装置配套真空设备，满足科研实验洁净高真空获取需求。

产品核心优势

• 一体化集成设计：干泵、分子泵、电控系统整合一体，减少管路搭配，开箱即可接入腔体使用

• 无油真空系统：干式前级泵结构，无油蒸汽挥发，避免样品、腔体污染，满足高洁净实验要求

• 台式紧凑型机身，占用实验台空间小，便于实验室布局摆放

• 全自动抽气时序控制，自动预抽、分子泵启停，具备过热、过载故障报警保护

• 风冷散热结构，无需外接冷却水，安装部署更加简便

• 原厂配套兼容，适配Thermo Riko GV系列真空红外加热设备，搭建真空原位加热实验平台

技术参数

典型应用场景

• 真空环境材料快速热处理、热冲击试验（搭配GV系列红外加热装置）

• 薄膜、微小型试样真空原位光学观测实验

• MEMS、半导体器件真空快速升温测试

• 小型真空样品腔、表面分析实验腔体抽真空作业

• 各类需要无油洁净高真空环境的科研实验

日本 Thermo Riko HC80V 一体式高真空排气装置 整机组成

• 设备主机机箱：内置干式前级真空泵

• 涡轮分子泵单元（设备顶部）

• 液晶操作控制面板、真空压力监测模块

• NW标准真空连接法兰

• 内置风冷散热系统、安全保护回路