一、日本 Apollowave MBP-55台式紧凑型手动探针台 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Apollowave MBP-55 台式紧凑型手动探针台 |
| 承载规格 | 最大适配55mm以内方形、圆形裸芯片、封装器件、陶瓷基板 |
| 平台结构 | 一体化紧凑型铸铁底座,X/Y/Z三轴微米微分手动微调平台,无电动驱动 |
| 视觉系统 | 同轴落射光学显微镜,可选配CCD工业相机+显示屏显微成像 |
| 核心应用 | 高校教学、初创研发小片裸芯片、分立器件、Mini基板直流/射频手动探针测试 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 标准规格 |
|---|---|
| 位移控制 | 三轴微分手轮微米级细分刻度,人工精细控制样品与探针相对位置 |
| 载片结构 | 微型真空吸附陶瓷载片台,专为≤55mm小片夹持设计 |
| 操作模式 | 全手动操作,无自动步进程序,单点、少量样品反复调试适配 |
| 探针兼容 | 多通道直流探针、GSG射频微波探针通用适配 |
| 信号输出 | 侧边标准射频同轴端口、直流偏置端子,对接各类半导体射频测试仪表 |
| 拓展配置 | 简易高低温温控卡盘、CCD成像显示套件、探针清洁组件可选加装 |
| 机身特点 | 超紧凑台式一体化机身,占用操作台面积小,空间紧张实验室适配 |
| 适用工况 | 高校间歇教学实验、少量裸片研发摸索、芯片单点失效精细分析 |
三、产品核心性能优势
1. 超紧凑小型一体化机身,窄桌面即可摆放
整机体积大幅缩减,无需专用大型设备台,普通实验室小型操作台、桌面工作台均可直接放置,适配仪器密集摆放、空间有限的高校教室与小型研发工位。
2. 专为55mm以内小片定制,匹配裸片、分立器件、Mini基板
放弃大尺寸晶圆冗余行程,载片台、三轴行程针对小片样品优化,操作轻便灵活,不适合6/8寸晶圆,专注教学、小样研发场景,设备采购投入更低。
3. 微米级微分三轴平台,微小器件电极精细对位可控
三轴配备高精度微分手轮,位移细分至微米级,针对毫米级光电探测器、微型滤波裸片、故障拆解芯片可缓慢微调扎针点位,便于多组对比实验与失效点位定位分析。
4. 同轴光学显微观测,微小焊盘可视化精准控制扎针压力
采用同轴落射照明光学镜筒,可选外接CCD投屏显示器,微小器件电极清晰放大显示,人工直观观察探针接触状态,有效减少探针划伤电极、接触电阻异常导致的测试失效。
5. 微型真空吸附载片台,可拓展简易冷热测试模块
标准微型真空牢牢吸附小片样品,手动微调过程不会滑动偏移;可加装小型简易高低温卡盘,完成常温至中温区间器件温变电学性能验证,拓展可靠性实验能力。
6. 射频、直流双信号接口兼容,单台覆盖多类小样研发需求
机身集成标准化射频同轴接口与直流偏置端子,搭配微波探针测试小型LTCC滤波器S参数、插损;更换直流探针测试MOS、二极管IV曲线、击穿电压,一套设备同时支撑射频与功率分立器件教学研发。
7. 纯手动无电动部件,采购与长期维护成本更低
整机无电机、驱动器、工控自动化系统,硬件结构简单,初始采购成本远低于半自动、标准手动6寸探针台;无电动易损件故障,日常仅需定期润滑导轨,维护工作量与耗材成本大幅降低。
四、日本 Apollowave MBP-55台式紧凑型手动探针台 适用行业与应用场景
高校微电子、光电通信实验室:半导体器件基础教学实验、流片小片样品性能演示
初创射频光电研发团队:小型LTCC滤波器、微型光电探测器裸片射频/直流特性摸索
半导体失效分析工位:拆解后小型故障芯片单点精细探针定位故障根源
分立器件研发实验室:二极管、三极管、MOS管裸片IV曲线、耐压特性摸底实验
小型封装元器件厂:TO封装器件、Mini陶瓷基板来料简易电学性能抽检






