一、日本 Apollowave a200CS/a300CS手动晶圆探针台 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Apollowave α200CS（6寸）、α300CS（8寸）手动晶圆探针台 |
| 平台结构 | 重型铸铁底座，三轴精密微分手动微调平台，微米级位移刻度，无电动驱动 |
| 晶圆适配 | α200CS最大6英寸晶圆；α300CS最大8英寸晶圆/陶瓷基板 |
| 视觉系统 | 同轴落射光学显微镜，可选配CCD相机+显示屏显微成像观测 |
| 核心应用 | 高校、研发实验室少量射频/光子/功率芯片样品手动探针测试、失效分析 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 标准规格 |
|---|---|
| 位移控制 | X/Y/Z三轴微分手轮微调，微米级细分刻度，人工精细定位 |
| 载片固定 | 真空吸附陶瓷载片台，可拓展高低温冷热温控卡盘模块 |
| 操作模式 | 全手动操作，无自动化程序步进，适合单点、少量样品反复调试 |
| 探针兼容 | GSG/GSGSG射频微波探针、多通道直流探针卡通用适配 |
| 信号接口 | 标准射频同轴端口、直流偏置端子，对接各类射频、半导体测试仪表 |
| 拓展配置 | 高低温温控卡盘、CCD成像显示系统、探针清洁套件可选加装 |
| 适用工况 | 实验室间歇式少量样品研发、芯片失效精细分析，不适合大批量连续抽检 |
| 空间占地 | 小型紧凑台式机身，常规实验室操作台可直接摆放，占用空间小 |
三、产品核心性能优势
1. 6寸/8寸双机型，研发实验室预算灵活选型
α200CS整机体积更小、采购成本更低，适配高校、小型研发团队6英寸及以内小样测试；α300CS台面更大，满足企业8英寸流片基板研发验证，客户可根据自有晶圆规格、预算精准匹配，无需承担自动化设备高额投入。
2. 微米微分手动微调平台，微小芯片精细点位可控调试
三轴配备高精度微分手轮，位移刻度细分至微米级，工程师可极缓慢、精准调节晶圆与探针相对位置，针对毫米波裸片、光子波导、失效故障芯片精细点位分析，手动微调可控性优于电动自动平台，便于多组对比实验。
3. 同轴光学显微观测，微小焊盘可视化精准扎针
采用同轴落射照明光学镜筒，可选外接CCD投屏显示器，微米级芯片电极清晰放大，人工直观观察探针接触状态，精准控制扎针压力，大幅减少探针划伤焊盘、接触电阻异常导致的测试失效，适配高精度光电器件研发。
4. 真空载片台+高低温拓展，常温、冷热可靠性实验全覆盖
标准真空吸附牢牢固定晶圆，手动微调过程不会出现晶圆滑动偏移；可加装热电/液氮温控卡盘，实现宽温区间芯片温变电学性能测试，满足功率器件、射频功放高低温可靠性研发实验需求。
5. 射频、直流双信号兼容，单台覆盖多品类半导体研发需求
机身集成标准化射频同轴接口与直流偏置端子，搭配微波探针可完成滤波器、射频功放S参数、插损隔离度射频测试；更换直流探针卡即可测试MOS、二极管IV曲线、击穿电压，一套设备同时支撑射频通信与功率分立器件研发。
6. 无电动伺服结构，采购与长期维护成本更低
整机去掉电机、驱动器、工控自动化系统，硬件结构简单，初始采购投入远低于半自动、全自动探针台；无电动易损件故障，日常仅需定期润滑导轨，维护工作量与耗材成本大幅降低，适合预算有限研发场景。
7. 小型紧凑机身，实验室多仪器紧凑布局友好
整机占地面积小于自动化探针台，无需独立大型设备机房，可直接放置标准实验操作台，适配高校、小型研发实验室仪器密集摆放的空间环境。
四、日本 Apollowave a200CS/a300CS手动晶圆探针台 适用行业与应用场景
高校微电子/射频通信实验室：光纤通信、半导体器件教学实验、新工艺流片小样性能验证
射频半导体研发部门：GaN/GaAs毫米波功放、LTCC滤波基板少量样品射频特性摸索测试
光电子光子芯片实验室：硅基、氮化硅波导、光电探测器裸片直流电学耦合验证
半导体失效分析工位：故障芯片拆解后裸片微小点位精细探针定位故障分析
功率半导体研发工位：MOS、IGBT、整流二极管小样IV曲线、耐压特性摸底实验
无源陶瓷基板研发实验室：小型LTCC滤波基板射频插损、驻波比小样测试
