一、日本 Apollowave VS-100真空腔体半自动探针台 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Apollowave VS-100 真空腔体半自动探针台 |
| 核心结构 | 不锈钢密封耐压真空腔体，搭配分子泵机组实现高真空，常压/真空双模式切换 |
| 晶圆承载 | 最大适配4英寸圆形晶圆、方形基板、各类小片裸芯片 |
| 运动系统 | 真空腔内内置三轴微米级电动位移平台，软件自动阵列步进定位 |
| 核心应用 | 光电子、GaN宽禁带、MEMS、二维材料芯片高真空无氧化半自动探针研发测试 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 标准规格 |
|---|---|
| 真空能力 | 密封不锈钢腔体，可搭配分子泵机组达到高真空，支持常压、真空两种测试工况 |
| 载片机构 | 真空吸附陶瓷载片台，可集成真空专用高低温冷热温控卡盘 |
| 观测系统 | 真空侧同轴光学镜+真空耐压密封CCD窗口，腔外实时显微成像对位 |
| 信号传输 | 标准化真空射频、直流馈通组件，隔绝压差，保障真空腔内信号无损输出 |
| 操作流程 | 半自动模式：人工腔外上下片封腔抽真空，软件全自动逐点阵列探针测试 |
| 探针适配 | 真空专用GSG射频微波探针、多通道真空直流探针通用匹配 |
| 控制逻辑 | 工业触控一体机，图形化点位编程，真空度联锁安全保护程序 |
| 拓展配置 | 分子泵真空机组、真空高低温卡盘、自动真空探针清洁机构可选加装 |
| 适用工况 | 科研实验室间歇式真空环境新工艺、气体敏感器件批量抽检验证 |
三、产品核心性能优势
1. 集成密封高真空腔体，隔绝水汽氧气，芯片无氧化原生性能测试
常规大气探针台测试GaN、光电裸片时，芯片表面极易接触空气氧化、吸附杂质，导致电学参数失真；VS-100整机自带耐压真空腔，搭配分子泵抽至高真空，器件全程隔绝大气，可测量芯片真实原生电学、射频特性，匹配真空薄膜、真空封装工艺研发需求。
2. 腔内内置三轴电动半自动平台，减少频繁破真空抽气损耗
位移电机、晶圆载台全部布置在真空腔体内部，仅更换样品时需要释放真空、重新抽气；同一批次晶圆阵列可全自动连续步进测试，无需每颗芯片开腔手动平移，大幅缩短单批次测试时长，降低分子泵频繁启停损耗。
3. 真空密封光学观测窗口，腔外无接触清晰观测微小焊盘
腔体侧壁采用真空耐压光学密封视窗，搭配同轴落射光学与外置CCD显示器，操作人员无需打开真空腔体，即可实时放大观察微米级器件电极，精准调节真空探针扎针高度与压力，避免反复破真空对位。
4. 专用真空馈通信号接口，真空环境射频、直流信号无衰减泄露
区别普通大气探针台线缆直出，设备采用真空专用射频、直流馈通组件，隔绝腔内外气压差，同时屏蔽高频信号泄露，真空环境下S参数、IV曲线采集稳定无噪声干扰，保障精密射频与直流测试精度。
5. 真空/常压双工况兼容，一台设备覆盖通用与真空器件研发
真空腔体可快速开启，当作普通大气半自动探针台测试常规分立器件、普通晶圆；密封抽真空后用于气体敏感、易氧化芯片实验，实验室无需分开采购两套探针测试设备，节约采购预算与机房占地面积。
6. 可拓展真空高低温模块，实现真空冷热耦合可靠性验证
载片台可加装真空专用半导体制冷加热卡盘，在高真空环境完成宽温区间器件温变电学测试，模拟宇航器件、真空功率器件、真空光电器件真实服役温度环境，可靠性实验数据贴合实际应用。
7. 真空度联锁安全控制系统，杜绝误操作损坏腔内精密组件
整机触控系统内置真空阈值联锁逻辑，腔体真空度未达到设定标准时，自动锁定三轴运动平台与探针下压机构；开盖瞬间立刻停止所有自动运动，防止真空压差冲击、探针猛烈撞击晶圆，提升真空设备长期运行安全性。
四、日本 Apollowave VS-100真空腔体半自动探针台 适用行业与应用场景
光电子芯片研发实验室：InP、GaAs激光器、红外光电探测器裸片高真空无氧化射频直流特性测试
宽禁带半导体研发工位：GaN、氧化镓、ZnO功率芯片真空原生IV、击穿电压、射频性能摸底
MEMS微机电科研平台：真空谐振、压力MEMS器件电学-力学耦合探针测试实验
二维材料科研实验室：石墨烯、二维半导体薄片无吸附杂质真空输运特性测量
宇航器件研发部门：太空真空封装光电器件、功率器件高低温真空可靠性验证
高校真空微电子教学实验室：真空薄膜工艺、气体敏感半导体器件教学验证实验
