一、日本 Apollowave AP-200 / AP-300 半自动晶圆探针台 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Apollowave AP-200（6寸）、AP-300（8寸）半自动晶圆探针台 |
| 平台结构 | 重型铸铁底座三轴微米级电动位移平台，程序自动步进定位 |
| 晶圆适配 | AP-200≤6英寸晶圆；AP-300≤8英寸晶圆/陶瓷基板 |
| 视觉系统 | 同轴落射光学显微镜+高清CCD，显示器实时显微焊盘对位 |
| 核心应用 | 射频GaN、光子芯片、功率半导体晶圆直流/射频S参数半自动探针测试 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 标准规格 |
|---|---|
| 运动精度 | 三轴微米级重复定位精度，批量晶圆复测数据一致性稳定 |
| 载片固定 | 真空吸附陶瓷载片台，可拓展高低温冷热温控卡盘 |
| 操作模式 | 半自动：人工上下料，软件全自动阵列步进扎针采集数据 |
| 探针兼容 | GSG/GSGSG射频微波探针、多通道直流探针卡通用适配 |
| 控制系统 | 工业触控一体机，可视化图形编辑晶圆测试点位矩阵 |
| 信号接口 | 标准射频同轴端口、直流偏置端子，对接矢量网络分析仪、半导体参数仪 |
| 拓展配置 | 高低温模块、自动探针清洁机构、晶圆盒送料模块可选加装 |
| 适用工况 | 研发实验室间歇样品测试、中试产线全天批量晶圆抽检通用 |
三、产品核心性能优势
1. 双尺寸机型分层匹配，研发/中试场景灵活选型
AP-200定位6英寸及以下小批量样品，整机占地更小，预算友好，适配高校、企业研发实验室；AP-300支持8英寸大尺寸量产晶圆，满足中试产线批量良率筛查，客户可根据自有流片规格精准匹配机型，避免设备规格过剩增加投入。
2. 三轴电动自动步进平台，大幅降低人工重复操作工时
区别纯手动探针台，三轴电动平台可提前在软件绘制晶圆芯片阵列，完成单颗器件测试后设备自动移动至下一个点位，无需人工反复平移晶圆，大批量晶圆测试时有效缩短检测时长，同时消除人工移动带来的定位偏差。
3. 同轴CCD光学视觉系统，微小裸片焊盘精准可视化对位
采用同轴落射照明光学显微系统，搭配高清工业CCD实时放大显示晶圆表面，微米级微小射频焊盘、光子波导电极清晰可见，可精准调节探针扎针高度与压力，减少探针划伤焊盘、接触电阻异常导致的测试失效。
4. 真空载片台+高低温拓展，覆盖常温/冷热可靠性全测试需求
标准真空吸附固定晶圆，测试过程不会出现晶圆滑动偏移；可加装热电/液氮温控卡盘，实现宽温区间芯片温变电学性能测试，满足功率器件、射频功放高低温可靠性研发实验要求。
5. 射频、直流双信号兼容，单台设备覆盖多品类半导体芯片
机身集成标准化射频同轴接口与直流偏置端子，搭配微波探针可完成滤波器、功放S参数、插损隔离度射频测试；更换直流探针卡即可测试MOS、二极管IV曲线、击穿电压，一套设备同时服务射频与功率器件研发。
6. 可视化触控编程，无代码快速自定义晶圆测试流程
配套工业触控一体机控制终端，图形化界面框选芯片阵列、设置步进速度、扎针停留时长、数据存储路径，无需专业编程基础，实验室工程师可快速搭建专属晶圆测试程序，降低设备使用学习成本。
7. 半自动折中方案，平衡采购成本与批量检测产能
全自动探针台采购与维护成本高昂，仅适合大规模量产；纯手动台批量测试效率低下；AP系列半自动机型仅人工负责上下晶圆，其余定位、扎针、数据采集全部自动化，兼顾研发小批量样品与中试线抽检需求，有效控制设备整体投入。
四、日本 Apollowave AP-200 / AP-300 半自动晶圆探针台 适用行业与应用场景
射频微波半导体企业研发部：GaN/GaAs射频功放、LTCC滤波器晶圆S参数常温/高低温探针测试
光电子光子芯片实验室：硅基、氮化硅波导、DFB激光器裸片直流电学性能探针验证
高校微电子通信实验室：半导体器件教学实验、工艺流片小批量样品性能摸底
化合物半导体中试产线：6/8英寸晶圆来料批量电学良率抽检、工艺参数验证
功率半导体研发工位：MOS、IGBT、整流二极管裸片IV曲线、击穿电压探针检测
无源陶瓷基板厂商：射频滤波基板裸片插损、驻波比射频自动探针筛查
