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日本ulvac热阴极电离真空计SH200-A/R/E

日本ulvac热阴极电离真空计SH200-A/R/E

更新日期:2022-10-18

访问量:156

厂商性质:经销商

生产地址:

简要描述:
日本ulvac热阴极电离真空计SH200-A/R/E
可连接不同量程的接点:采用多离子规,可根据应用选择接点。

日本ulvac热阴极电离真空计SH200-A/R/E

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这是一个新系列的换能器型真空计“G-TRAN系列多离子计",可以连接不同测量范围的探针。本产品为BA型电离真空计,可测量超高真空。在继承传统压力测量范围宽、运行成本低的理念的同时,我们对其进行了改进,使其更加人性化。

特征

  • 可连接不同量程的接点:采用多离子规,可根据应用选择接点。

  • 紧凑:比传统产品小得多(控制器体积减少 56%),最小的级别

  • 提高可用性:PC/智能手机连接可实现设定点设置、状态确认等。

  • 产品阵容增强:除了模拟输出规格(SH200-A)和串行通信规格(SH200-R)之外,还将增加EtherCAT规格(SH200-E)

  • 灯丝寿命通知功能:灯丝功率监控可提前通知灯丝寿命

  • 压力测量范围广:可测量从大气压到高真空范围(1 x 10 +5至 5 x 10 -8 Pa)(连接可选单元 SWU10-R 时)

  • 精确的大气压测量:可以检查腔室开口的大气压(连接可选单元 SAU 时)

用途

  • 用于半导体和电子元件等各种制造设备的高真空区域的过程控制

  • 用于检查具有许多工艺室的各种制造设备的高真空区域的极限压力,例如在线和单晶片系统。

  • 用于高真空/超高真空设备的压力测量

日本ulvac热阴极电离真空计SH200-A/R/E

规格

模型SH200-ASH200-RSH200-E(预定发布)
规格标准规格串行通信规范EtherCAT 规格
自适应多离子规传感器M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070)
可连接传感器多离子规传感器:1 个
皮拉尼规 SWU10-R:1 个(选项)
大气压传感器 SAU:1 个(选项)
重复性 (N 2 )SH200 独立模式:±2%
采样时间60ms 5次移动平均处理
测量值输出输出电压 DC 0 至 10V LOG 输出 0.75V/1 位
压力转换公式 V=7.25+0.75×(LogP-2) P=10^
更新时间60毫秒
控制输入信号使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF
集电极开路输入、负逻辑
操作 * FIL ON/OFF 信号使用因模式而异
--
控制输出信号传感器错误,设定点 1/2/3,发射有效,
灯丝功率监控
额定值:24V MAX,50mA MAX,饱和电压 1V
--
串行通信规范-RS232C/RS-485EtherCAT
LED显示屏POWER/ERROR:电源、错误 LED(闪烁状态根据每种模式而变化)
SET1:设定点1 LED 
SET2:设定点 2LED 
SET3:设定点 3LED
--
发射电流1mA(1×10 -3 Pa以下)、10μA(1×10 -3 Pa以上)
脱气电子轰击法(电子轰击)1mA,330V
传感器耐压2×10 +5 Pa(压力) *法兰和卡箍的承受压力必须单独考虑。
传感器内部容积17cm3  M-44)、19cm3  M-45)、17cm3  M-46)
工作温度限制10 至 50°C
工作湿度范围15 至 80%(无冷凝)
贮存温度-20 至 65°C(未通电时无冷凝)
知识产权保护等级IP30
电源电压20 至 28 VDC(纹波、噪声 1% 或更低)、8 W 或更低
输入/输出连接器D-sub 15针(M2.6螺丝)
大量的控制器:约 280g 探头(M-44,M-45):80g,(M-46):300g
尺寸 W×D×H69mm×63mm×90mm(控制器部分)
符合标准行政长官
选项



多离子计传感器M-44(NW16)、M-45(NW25)、M-46(ICF070)
材质:灯丝 1,2 -Ir/Y 2 O 3涂层
其他:PtC-Mo、SUS304、W、Kovar glass、Kovar/Ni电镀
皮拉尼规SWU10-R *也兼容传统 SPU
皮拉尼压力传感器SWP-16(NW16)、SWP-25(NW25)、SWP-R1/8(R1/8)、SWP-P18(Φ18管端)、SWP-P15(Φ15管端)
材质:灯丝-Pt,其他- BS/Ni、电镀、镍、焊料
大气压传感器SAU(NW16) 材质:SUS316L
单元电缆GUC-200P(SWU用):0.5m、1m、2m 
GUC-200A(SAU用):0.5m、1m、2m
显示单元1CH:ISG1(使用DC24V供电)
显示单元电缆SH200 和显示单元之间的电缆
2m, 5m, 10m, 15m, 20m, 25m, 30m, 35m, 40m
连接器输入/输出连接器(D-sub15-socket(M2.6mm螺丝))
其他检验报告、一般校准测试报告、JCSS校准证书






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