PK361 全压型真空计 真空度测试仪

日本 Thermo Riko PK361 全压型真空计 真空度测试仪 商品简介

日本Thermo Riko热理工株式会社PK361全压型真空计，是工业真空系统专用压力检测设备，采用分体式设计，包含真空传感器探头与显示控制单元，探头安装在真空管路或者腔体上，控制器完成信号处理与真空度数值显示。仪器支持真空阈值设定，具备报警输出功能，同时提供标准信号输出，可以对接PLC以及数据记录仪，实现真空状态监控与设备工艺联锁。设备抗油气、粉尘污染能力优秀，运行稳定可靠，大量应用于真空镀膜、真空排气设备、半导体工艺设备、真空热处理炉等场景，既满足工业产线连续运行，也适用于科研真空实验腔体压力监测。

产品概述

PK361全压型真空计针对工业复杂真空工况开发，区别于普通简易真空测量仪表，采用探头与控制器分离的分体架构，传感器探头直接接触真空环境，控制器可以布置在远离腔体的操作台或者机柜内，方便操作人员读取真空数据。设备测量真空系统全压，直接反映腔体内部总真空压力状态，是真空工艺非常关键的监测参数。控制器搭载液晶显示屏，直观读取真空度，用户可以设置工艺允许的真空上下阈值，一旦真空度超出设定范围，仪器触发报警信号，还可以输出开关量实现设备联锁，保护工艺产品。同时配备模拟输出接口，可把真空数据上传控制系统，完成工艺数据记录追溯。面对镀膜、排气工艺产生的油气、微量粉尘，该型号探头具备良好抗污染能力，降低传感器损耗，延长使用寿命，是日本原装工业级真空测量配套部件。

核心技术参数

日本 Thermo Riko PK361 全压型真空计 真空度测试仪 产品特点

• 全压测量，直接获取真空腔体总压力，适配各类真空工艺系统

• 分体式结构，探头与控制器分离，适配现场复杂安装布局

• 液晶数字直观读数，支持真空阈值设置，实现超限报警联锁

• 抗油气、粉尘污染，镀膜、排气等恶劣真空环境稳定工作

• 标准信号输出，轻松接入自动化设备，实现工艺数据采集

• 日本原装整机，工业级可靠性，支持长时间不间断连续运行

应用场景

真空镀膜设备真空度监测与工艺联锁；真空排气装置腔体压力检测；半导体、电子元器件真空工艺设备配套；真空热处理、烧结设备真空监控；科研实验室各类真空腔体压力测试，为真空工艺提供可靠压力数据。