一、Canon Anelva M-723HG/M-823HG/M-923HG 电离真空计 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌系列 | Canon Anelva M系列电离真空计 M-723HG / M-823HG / M-923HG |
| 测量原理 | Bayard-Alpert 热阴极电离规 |
| 核心功能 | 真空腔体中高/超高真空压强连续监测、工艺真空闭环联动控制 |
| 核心应用 | 真空光谱仪、磁控溅射镀膜、半导体工艺、XPS/SEM表面分析、真空光催化实验室 |
二、核心规格参数对比
| 参数 | M-723HG | M-823HG | M-923HG |
|---|---|---|---|
| 测量量程 | 1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁷ Pa | 1×10⁻¹ ~ 5×10⁻⁸ Pa | 1×10⁻¹ ~ 1×10⁻⁹ Pa |
| 显示 | 数码管单路显示 | LCD液晶单路 | 高清LCD双路同步显示 |
| 通讯接口 | 0–10V模拟输出 | 模拟+RS232 | RS232/RS485 工业总线 |
| 报警继电器 | 1路真空阈值报警 | 2路独立报警 | 4路可编程区间报警 |
| 规管接口 | KF16/KF25 单规输入 | KF16/KF25 单规 | 双规同步输入，两路真空同时监测 |
| 拓展配套 | 替换规管、加长线缆 | 双规采集软件、机架套件 | PLC联动时序模块、防腐蚀特种规管 |
三、产品核心特点
1. 优化Bayard-Alpert电离规，覆盖超高真空测量下限
安内尔巴改良型电离阴极结构，低真空至超高真空区间线性误差小，最高可稳定测量10⁻⁹Pa超高真空，适配精密表面分析、超高真空光学光谱设备。
2. 三档梯度型号，完整覆盖小试实验室、工业量产、超高精密设备
M723经济型适配高校小型真空腔体；M823通用工业款适配镀膜、中小型半导体设备；M923超高精密双规机型用于科研分析与全自动产线联动。
3. 内置真空骤降保护，漏气自动切断灯丝，延长电离规耗材寿命
腔体突发漏气、真空快速劣化时，主机实时检测压强突变并自动关闭电离灯丝，避免离子轰击烧断阴极，大幅降低规管更换频次与运维成本。
4. 多通道继电器+工业数字通讯，可联动真空阀、分子泵、辐照光源时序
M923HG搭载四路可编程真空阈值继电器，搭配RS485总线可接入PLC控制系统，实现真空机组、镀膜电源、单色仪光源全自动时序联锁控制。
5. KF16/KF25标准法兰规管，兼容绝大多数国产/进口真空腔体
规管底座采用行业通用快拆KF法兰，可直接装配DIR-25GT红外真空光谱装置、各类溅射镀膜腔，无需定制非标转接配件。
6. 单规宽量程无缝测量，无需分段搭配皮拉尼复合规
单支电离规即可连续完成10⁻¹Pa至10⁻⁷~10⁻⁹Pa全区间测量，简化真空系统管路布局，减少多规信号采集复杂度。
7. 低噪声弱电驱动，不会干扰腔内光电探测器、光谱仪微弱信号基线
规管供电采用屏蔽线缆+低电磁噪声驱动电路，搭配真空紫外、红外单色仪做光谱测试时，无额外杂波干扰样品光电响应读数。
8. 分体模块化规管，清洁、更换无需整机返厂维修
电离规管独立可拆卸，腔体镀膜污染物、阴极老化后可单独拆下超声清洗或替换，真空计控制器可长期重复使用。
四、适用行业与应用场景
真空光学科研：DIR-25GT红外真空光谱照射装置、VUV深紫外单色仪超高真空在线监测；
薄膜镀膜工业：磁控溅射、电子束蒸发镀膜腔体真空闭环监控，联动进气、靶材电源；
半导体制造：晶圆刻蚀、薄膜沉积工艺腔体高真空全自动监测；
表面分析平台：XPS、AES、扫描电镜SEM超高真空腔体精密压强测量；
新能源材料研发：高真空光催化反应舱、光伏薄膜真空老化试验腔体；
高校真空教学：分子泵、离子泵配套真空测量教学实验平台。
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