日本vista能真空计SC-10
日本vista智能真空计SC-10
・通过监视残留气体成分,可以监视真空装置的健康状况,并可以立即发现异常。
・用此一台可以测量真空度(总压力)和气体成分(分压)。
SC-10智能真空计是我们开发的一种全新的自动真空计,可以测量残留气体成分和总压真空。
总压力真空是从大气压到10-7 Pa的超高真空,当总压力达到约50 Pa时,气体成分的分压会自动启动,并且可以在约10-5的范围内进行测量Pa至10-6 Pa ..
可以在粗糙的压力范围内测量气体成分并检查泄漏,这是常规气体分析仪无法做到的。
由于智能真空计可以测量残留气体的成分,因此可以快速了解真空设备的声音状况,例如排气装置中的水蒸气泄漏和脱气。下两个图显示了同一设备的不同排气数据,但在图1中显示了正常排气,其中水蒸气是主要成分,并且确定了总压力真空,而在图2中,氮气是由于泄漏造成的。可以看到,从下降的排气开始大约5分钟后,排气停止了,如果继续排气,则大约10分钟后,氮含量变得比水蒸气大,并且总氮含量下降。压力真空停止。通过使用智能真空计,您可以快速发现排气异常及其原因,而仅通过监视总压力真空是无法理解的。
图1
图2
使用智能真空计不仅可以发现泄漏,还可以喷射氦气或氩气以找到泄漏的位置。图3显示了在泄漏点上喷射氩气时的智能真空计的数据,但是可以看到,由于氩气的增加和氮气的减少,此处存在泄漏。在停止泄漏之后,如图4所示,氮气和氧气减少,水蒸气成为主要成分,并成为典型真空装置的残留气体成分。
图3
图4
只需将其打开并将其连接到您的PC,就无需执行其他任何操作。SC-10内置的全量程压力表可测量从大气压到超高真空的总压力,当总压力达到约50 Pa时,将自动开始测量残余气体成分(分压测量)。
不用担心,当您返回大气压时,气体成分测量将自动关闭。
由于残留气体的测量是在约50 Pa的低真空下进行的,因此可以从常规气体分析仪(RGA)无法操作的粗抽压力下进行异常检测和泄漏检查。
由于没有灯丝,因此它耐脏且不会断裂。即使传感器变脏,也可以自己清洁。
气体成分的总压力和分压以条形图或趋势图显示。
您可以在轴上进行放大和缩小,甚至在测量期间也可以滚动回到过去的时间。
您只需按“记录”按钮即可将记录保存为csv文件格式,这便于以后分析数据。
该操作系统与Windows XP / Vista / 7/8/10兼容。
条形图模式
趋势图模式
安装容易。只需将传感器连接到真空设备,使用USB电缆将其连接到PC,然后连接AC适配器。
该传感器小巧轻便,可在Windows平板电脑上使用,因此您可以轻松地将其随身携带以进行压力测量,残余气体测量和泄漏检查。
SC-10通过测量总压力的冷阴极压力表的放电颜色来区分气体成分。通过利用光的颜色(波长)根据气体成分而不同的事实来测量该成分。也可以在SC-10的光谱模式屏幕上查看气体成分的波长。
由于气体成分测定部设置在大气压侧,因此不会被真空中的气体污染,因此能够不受污物的影响而进行测定。此外,冷阴极规没有灯丝,因此可用于坚韧耐用的应用。
频谱模式画面