一、日本Atomax AM系列超精细雾化喷嘴 产品概述
日本Atomax AM系列超精细二流体雾化喷嘴,专为半导体、精密医疗及精密工业领域设计。该系列喷嘴采用创新的“外部混合涡流式"结构,能够在极低能耗下实现5μm级别的超微均匀雾化。其革命性的防堵塞与简易维护设计,解决了高粘度、含固体颗粒浆料在微细喷涂中堵塞、维护频繁的痛点,是精密薄膜涂层、湿法清洗及微量药物喷涂的核心解决方案。
二、日本Atomax AM系列超精细雾化喷嘴 产品型号与规格
| 型号 | 适用流量范围 | 核心特点 | 主要适用场景 |
|---|---|---|---|
| AM6 | 超微量(低于1L/h) | 极低流量精准控制 | 晶圆纳米级光刻胶涂覆 |
| AM12 | 微量喷雾 | 低压自吸,压缩气体消耗少 | 微型电子元件精密喷涂 |
| AM25 | 低量喷雾 | 薄膜与涂层切换 | 功能材料薄膜形成与镀膜 |
| AM45 | 中流量喷雾 | 宽幅均匀,覆盖面积大 | 大面积表面清洗与精密涂布 |
三、核心技术与性能优势
超精细微米级雾化:通过微量精密喷雾,可获得平均粒径约5μm的超细均匀颗粒,有效解决传统喷嘴常见的滴落与涂层不均问题。
革命性防堵塞设计:内部采用超大直通孔径(传统喷嘴的10-200倍),配合直线型流路结构。可轻松处理浆料、乳液、高粘度液体及含固体颗粒的复杂流体,杜绝堵塞。
极简结构与易维护:全喷嘴仅由2个主要组件构成,无O型圈或内置过滤器,拆卸清洗极其便捷,大幅降低日常维护成本。
节能与低耗:雾化所需压缩空气量比传统喷嘴减少15%-70%,仅需一个20-750瓦的小型空气压缩机即可稳定运行。
极低的化学剂损耗:具备精确的流量控制能力,相比传统系统可减少30%以上的液体消耗(如脱模剂、光刻胶、清洗剂等)。
四、材质选择
标准材质:SUS316L不锈钢,具备优异的耐腐蚀性与机械强度,适用于绝大多数常规及化学喷雾环境。
定制材质:PEEK树脂 / PTFE,具有强的耐强酸、强碱及耐化学腐蚀性能,适用于苛刻的化学反应或半导体蚀刻清洗工序。
五、主要应用领域
半导体制造:晶圆光刻胶精密涂覆、显影液动态喷淋、表面边缘去胶(EBR)、精密湿法清洗、薄膜沉积与镀膜。
医疗与制药:药片精准包衣、医疗器械植入物涂层、极微量药物雾化喷涂、实验室高精度分析仪器喷雾。
精密电子与涂层:电子元件功能性薄膜喷涂、光学镀膜、极微量脱模剂喷涂。
食品与消毒:食品表面精准调味液喷涂、大面积空间环境灭菌与消毒喷雾。






