NGK 日本碍子株式会社陶瓷加热器

日本NGK（日本碍子株式会社 NGK Insulators, Ltd.）陶瓷加热器

NGK陶瓷加热器是半导体真空设备当中关键的晶圆加热部件，由日本碍子株式会社NGK Insulators开发制造，主要安装于刻蚀、PVD、CVD、退火等半导体真空工艺腔体内部，用于对硅晶圆进行均匀加热与精密控温。产品以高纯度氮化铝AlN陶瓷作为基体，发热回路被埋置在陶瓷本体内部，一体烧结成型，整体结构致密牢固。

氮化铝陶瓷拥有很高热导率，设备热响应速度快，能够让晶圆整面获得优秀的温度均匀性，减少晶圆不同点位的温度差，以此保障刻蚀、镀膜等工艺结果一致，提高芯片生产良率。产品适配高真空以及等离子腐蚀工况，真空下放气量很低，不会释放杂质污染腔体；同时具备优秀耐等离子腐蚀能力，可以长期承受腔体内部等离子轰击，部件使用寿命优异。产品覆盖8英寸、12英寸主流晶圆规格，既可以作为半导体新设备的配套组件，也可以用于工厂产线设备维护替换备件，广泛应用于各类芯片制造产线与半导体设备厂商。

日本 NGK 日本碍子株式会社陶瓷加热器 技术参数

日本 NGK 日本碍子株式会社陶瓷加热器 产品核心优势

• 氮化铝高导热陶瓷基材，热传导效率高，升温响应快，晶圆温度均匀性优异；

• 发热回路陶瓷内埋一体烧结，结构致密，抗热冲击，机械稳定性好；

• 真空环境出气量极低，不产生工艺污染，维持腔体洁净环境；

• 耐等离子腐蚀，适配刻蚀等强腐蚀腔体工况，部件使用寿命长；

• 精密控温，减小晶圆面内温差，提升镀膜、刻蚀工艺一致性与芯片良率；

• 覆盖8/12英寸主流晶圆，支持新机配套，也可用于产线备件替换。

主要应用领域

半导体CVD/PVD薄膜沉积；等离子刻蚀腔体；晶圆退火热处理；半导体设备原厂配套；芯片制造工厂产线备件维护；各类真空工艺晶圆加热工位。