一、Canon Anelva 氦质谱检漏仪 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌系列 | Canon Anelva 氦质谱检漏仪 |
| 检测原理 | 氦气示踪+质谱分析，换算得到精准泄漏率 |
| 核心用途 | 真空腔体、真空阀、管路、真空元器件密封性检测，定位微小漏点 |
| 典型应用 | 真空镀膜、半导体工艺、真空光学实验、新能源真空热处理、电子真空封装 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 检漏量程 | 可达10⁻¹² Pa·m³/s级别，检出微观渗漏 |
| 检测模式 | 真空喷吹模式、吸枪模式两种 |
| 抽气配置 | 内置粗抽泵+分子泵，可独立完成工件预抽真空 |
| 通讯输出 | 模拟量、RS232/RS485、超标声光报警，对接PLC |
| 对接接口 | KF标准真空接口，兼容该品牌真空阀、真空管路 |
| 拓展配件 | 加长吸枪、氦气回收装置、标准校准漏孔、上位机采集软件可选 |
三、产品核心特点
1.超高检测灵敏度，捕捉普通检漏方式无法发现的微漏
利用氦分子强穿透性搭配质谱筛选，可以检出极其细微的泄漏，保障超高真空设备能达到设计真空度，适配电离真空计的工作工况。
2.双检测模式，覆盖腔体、独立零部件两类检测需求
真空喷吹适配大型真空腔体；吸枪适配小型密封工件，单台设备即可满足产线、实验室绝大多数检漏场景。
3.内置真空机组，部署灵活
小型工件直接接主机检测；大型自有真空系统可复用原有泵组，仅接入质谱单元即可检漏，改造难度低。
4.适配全系列Anelva真空零部件校验
可检测真空隔离阀、电容/电离真空规、真空管路焊缝法兰密封性能，维保阶段快速定位漏点，缩短真空系统调试周期。
5.工业级联动能力，适配量产质控
漏率超标自动报警，检测数据可归档上传，接入产线PLC实现不合格品自动剔除。
6.优化气路降低氦气消耗
探头、气路结构减少氦气浪费，选配氦气回收系统可以进一步降低长期耗材成本。
7.进气过滤适配工业复杂工况
前置过滤结构阻挡油雾、粉尘进入质谱芯体，适配镀膜车间环境，延长核心部件寿命。
8.支持计量校准，检测结果合规可溯源
搭配标准漏孔定期自检，检测报告可用于工程验收、科研数据归档。
四、适用行业场景
真空镀膜：腔体、阀门、焊缝检漏，新机验收、日常维保排查漏点；
半导体行业：刻蚀沉积腔体、真空管路密封性检测；
真空光学科研：真空单色仪、真空光谱腔体检漏，保障超高真空实验条件；
新能源领域：真空退火炉、真空反应舱密封性检测；
电子封装：真空密封元器件、锂电封装外壳批量检漏；
第三方检测机构：出具具备溯源性的真空密封性检测报告。
