一、Canon Anelva V-025SV 真空隔离阀（气动真空角阀） 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Canon Anelva V-025SV 气动真空隔离角阀 |
| 公称通径 | 25mm，适配KF25标准真空法兰 |
| 核心用途 | 真空管路支路隔离，真空泵、真空计通断管控，实现主腔体保真空检修支路部件 |
| 典型应用 | 真空镀膜、半导体工艺、真空光学设备、真空热处理、科研真空实验平台 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 阀体结构 | 90°直角角阀结构，节省管路安装空间 |
| 驱动方式 | 工业压缩空气气动驱动，适配0.4~0.6MPa气源 |
| 法兰规格 | KF25快拆法兰，通用性强 |
| 阀位反馈 | 两路机械限位开关，输出全开、全关信号对接PLC |
| 阀体材质 | 不锈钢，耐工艺气体腐蚀 |
| 拓展配件 | 金属密封、手动应急机构、气源处理组件可选加装 |
三、产品核心特点
1. 直角角阀布局，适配紧凑管路
进出口呈90°转向，适配狭小设备内腔、腔体侧壁安装，布线布局比直通阀更灵活，节约真空系统空间。
2. 气动驱动搭配阀位反馈，适配自动化产线
压缩空气驱动阀门启闭，限位开关实时传回阀门状态，接入PLC即可做工艺联锁；阀门未闭合时可锁定进气、抽气流程，规避生产事故。
3. 低放气密封，满足高真空使用需求
采用真空专用密封圈，材料出气量极低、密封漏率小，可长期维持高真空，适配电离真空计配套的超高真空腔体工况。
4. 不锈钢阀体耐各类工艺介质侵蚀
可耐受氩气、氮气、镀膜微量挥发物腐蚀，适配溅射、等离子这类复杂工艺环境，服役寿命长。
5. KF通用法兰，改造加装便捷
标准KF25快拆法兰，可直接对接市面上主流真空泵、真空计、真空管道，无需定制转接件。
6. 支路隔离减少抽真空损耗
检修真空规、泵体时关闭该阀，主腔体可以保留真空，不用重复抽真空，节省抽气时间、降低泵损耗。
7. 预留手动应急操作能力
气源故障时可手动开闭阀门，避免真空系统失控，提升运维安全性。
8. 模块化密封件，后期维护成本低
密封圈、限位开关均可单独采购更换，无需更换整阀，大幅降低长期运维开支。
四、Canon Anelva V-025SV 真空隔离阀（气动真空角阀） 适用行业场景
真空镀膜：真空泵、真空检测支路隔离，设备维保保留腔体真空；
半导体制造：刻蚀、沉积设备测压管路通断控制；
真空光学科研：真空单色仪、光谱仪真空计支路隔断，拆装规管不破坏主腔真空；
新能源材料：真空退火、光催化反应舱抽气支路管控；
高校实验平台：搭建真空试验回路，切换抽气测压支路；
电子真空封装：封装腔体气路管控，保障真空度稳定。
