日本ballwave微量水分计Falcon Trace 系列
超微量水分计“Falcon Trace"是使用球型SAW传感器定量测量工业气体和天然气中极微量水分子的设备。
响应速度极快,可实时监测含水量变化,可测量含水量和背景气体成分分析两项。气体中的水浓度可以精确测量到 1 ppb (1/10 亿) 的水平。
案例研究/应用
半导体制造设备制造商
(主要是前端工艺)电池制造商
及其材料制造商的制造过程工业气体制造商
产品阵容
响应速度极快,可在数秒内监测含水量变化,有助于稳定半导体和二次电池制造过程中的产品良率和质量。
无需重新配置每种背景气体,当天然气等成分发生波动时,可以同时检测。另一个主要优点是传感器材料是水晶球,这使其耐腐蚀、重量轻且易于携带。
FT-700WT
实现“超"微量水分测量的系列机型
测量范围从露点 -110°C 到 -20°C
除露点测量外,背景气体*成分(相当于平均分子量)也以 % 水平检测
* 背景气体:要测量的气体的含水量用这一装置覆盖从天然气到高纯度气体
应用示例
工业气体制造过程/出货时的质量控制,半导体制造材料气体纯度控制
FT-400WT
可在中等范围内进行实时测量的中等型号
在 1 秒内测量从 -90°C 的露点开始的变化,非常适合实时控制系统测量
也可以更改为设备内置类型*
* 请联系我们
应用示例
一般生产线的质量控制,电池制造过程的水分含量监测
FT-300WT
在保持高速响应性的同时强调便携性的小型通用型号
1秒内测量-70°C露点的变化,支持实时测量系统
轻巧紧凑,重量仅为 2 公斤,便于携带到目标区域
即使在因电池驱动而没有商用电源的地方也可以使用
应用示例
干燥箱、空间水分分布、一般气体