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日本sanyu electron桌面涂布机SC-701AT

日本sanyu electron桌面涂布机SC-701AT

更新日期:2021-09-30

访问量:151

厂商性质:经销商

生产地址:

简要描述:
日本sanyu electron桌面涂布机SC-701AT
排气 → 镀膜(蚀刻) → 全自动直至向大气开放
尽管是紧凑型,但仍可控制膜厚(简易型)
操作简单、重现性高的全自动溅射设备
配备镀膜/蚀刻模式

日本sanyu electron桌面涂布机SC-701AT

特征

  • 排气 → 镀膜(蚀刻) → 全自动直至向大气开放

  • 尽管是紧凑型,但仍可控制膜厚(简易型)

  • 操作简单、重现性高的全自动溅射设备

  • 配备镀膜/蚀刻模式



应用/结果示例

  • 适用于各种设备的电极膜附件

  • 用于制造反射薄膜等

日本sanyu electron桌面涂布机SC-701AT


基本规格

阴极φ2英寸/2极面对电极
溅射靶包括 Au 目标
蚀刻靶包括铝目标
膜厚设定方法预设方法/带膜厚监视器的数字显示
气体引入机制针阀
真空泵直联回转泵:20l/min(带自动漏气)
排气操作自动的
腔室尺寸内径 φ120 mm x D120 mm(SUS 制)
样品交换方式前门开闭式
尺寸(宽/深/高)主体:225/420 / 320mm
RP:300/160 / 200mm
重量身体:15kg
RP:9kg



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