日本sanyu electron桌面涂布机SC-701MkⅡ
特征
直流溅射类系列中最小的超紧凑型号
一种可以轻松制作电极薄膜的小型溅射装置
标配间歇溅射功能
TS 之间的距离可以通过专用的样品台和载物台轻松改变。
应用/结果示例
适用于各种设备的电极膜附件
用于制造反射薄膜等
日本sanyu electron桌面涂布机SC-701MkⅡ
基本规格
| 阴极 | φ2英寸/平板型电极 |
| 溅射靶 | 包括 Au 目标 |
| 气体引入机制 | 针阀 |
| 间歇功能 | 标配 |
| 真空泵 | 直联回转泵：20l/min（带自动漏气） |
| 腔室尺寸 | 内径φ90mm x D90mm（SUS制） |
| 样品交换方式 | 前门开闭式 |
| 尺寸（宽/深/高） | 本体：160/326 / 286mm 反相：300/160 / 200mm |
| 重量 | 身体：10kg RP：9kg |
