日本pureron高过滤精度全金属气体过滤器UCS-m系列
日本pureron高过滤精度全金属气体过滤器UCS-m系列
金属气体过滤器
全部采用SUS316L材质制造，紧凑式设计、高过滤精度、耐高温（460℃）用于ULSI制造的高性能气体过滤器。
- UCD系列： 圆盘状部件过滤精度0.003μm 推荐流量10～100L/min
- RGF系列： 管状部件 过滤精度0.1～10μm 推荐流量40～60L/min
- UCS-M系列： 管状部件 过滤精度0.003μm 推荐流量15～250L/min
高过滤精度全金属气体过滤器 UCS-m系列
- 全部材质采用SUS316L不锈钢
- 高清浄度：全部产品在交付前经过内部特殊洗净，通入高纯度氮气的同时进行高温烘烤处理。
- 高流量、高压差下也可以高效去除0.003μm以上的粒子。
- 高内热性 460℃
- 具备10ℓ/min的小流量到250ℓ/min的中流量各种型号。
- 低压力损失:和以往的金属过滤器相比，压力损失非常低，体积小巧但能够处理高流量气体。
| 过滤精度 | 0.003μm | |
|---|---|---|
| 推荐流量 | 10M…15ℓ/min、13M…60ℓ/min、19M…120ℓ/min、24M…250ℓ/min | |
| 设计压力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是，依据日本国内的高压气体保安法，使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品，请询问我们。 |
| 常用压力 | 1MPa(145PSIG)未满 | |
| 容许差压 | 15MPa(2,175PSIG) at20℃ | |
| 使用温度 | 460℃（惰性气体） | |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| 构成材料 | 外罩：SUS316L（电解研磨处理） 元素：SUS316L 内表面粗糙度：Rmax0.5μm以下 | |
| 标准规格 | 烘烤、纯水特殊洗净（过滤器内部） | |
| 连接零件 | 1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它 | |
