日本pureron预处理用全金属气体过滤器RGF系列
日本pureron预处理用全金属气体过滤器RGF系列
预处理用全金属气体过滤器 RGF系列
- 过滤精度范围宽
可以对应固定或脉冲方式下的0.1～10μm过滤精度。 - 高耐腐蚀性
过滤器没有采用腐蚀性材料，不用担心被腐蚀或者生成中间产物。 - 排气特性
和的烘烤加热器并用，APIMS方式测定的排气（水分量）能够达到1.2ppb。继续使用可以达到0.1ppb的水平。过滤器内部的杂质预先采用特殊洗净方式去除，排气性能更加出色。
| 过滤精度 | 0.1、0.5、1.0、5.0、10μm 各种 | |
|---|---|---|
| 推荐流量 | 尺寸大小 E 尺寸…40ℓ/min、T 尺寸…60ℓ/min | |
| 设计压力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本产品全部经过14.7MPa的耐压测试后出货。但是，依据日本国内的高压气体保安法，使用压力的显示和使用是不超过1MPa。关于1MPa以上的高压煤气认定品，请询问我们。 |
| 常用压力 | 1MPa(145PSIG)未满 | |
| 容许差压 | 2MPa(290PSIG) at20℃ | |
| 使用温度 | 400℃ | |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa・m3/sec以下 | |
| 构成材料 | 外罩:SUS316L（电解研磨处理） 元素:SUS316L 内表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 | |
| 连接零件 | 1/4"、3/8"、1/2" Gasket seal、 Compression seal、其它 | |
金属气体过滤器
全部采用SUS316L材质制造，紧凑式设计、高过滤精度、耐高温（460℃）用于ULSI制造的高性能气体过滤器。
- UCD系列： 圆盘状部件过滤精度0.003μm 推荐流量10～100L/min
- RGF系列： 管状部件 过滤精度0.1～10μm 推荐流量40～60L/min
- UCS-M系列： 管状部件 过滤精度0.003μm 推荐流量15～250L/min
