产品简介

EV‑PA500空冷干式真空泵为日本EBARA荏原干式无油真空设备，采用非接触罗茨泵结构，无油润滑，输出洁净无碳氢的真空环境。设备采用空气强制冷却，无需外接冷却水系统，简化现场管路布置，支持24小时不间断连续运行。整机小巧轻便，低噪音低振动，可直接替代传统油旋片泵、涡旋真空泵，避免油蒸汽对腔体造成污染，广泛适配半导体负载锁腔体、真空镀膜、科研实验、工业精密制程，满足洁净真空工况使用需求，支持CE、SEMI‑S2行业标准，设备集成与现场安装调试便捷。

📋日本 EBARA 荏原 EV‑PA500 空冷式干式真空泵 详细技术参数

✨产品核心优势

• 无油干式泵体，无油蒸汽污染，输出洁净真空，保护腔体与工件。

• 空冷散热，不需要冷却水，省去水冷管路，现场安装简单，通电即可投入使用。

• 整机仅21kg，机身紧凑小巧，便于设备集成、机柜内置、实验室摆放。

• 低噪音58dB(A)，振动小，适合洁净车间、实验室长期连续运行。

• 50/60Hz电网通用，不同供电频率下抽气性能稳定一致。

• 非接触泵腔结构，减少易损件损耗，维护工作量低，支持24h不间断工作。

• 支持气镇功能，可处理含水汽工况，适配多样工艺；满足CE、SEMI‑S2行业规范。

🔧适用行业与应用场景

适配需要洁净无油真空的各类工况：

• 半导体行业：Load‑lock负载锁、晶圆检测设备、小型镀膜设备前级抽真空

• 科研实验室：材料实验、真空处理、各类分析仪器配套真空源

• 工业制造：真空镀膜、真空清洗、低压工艺，替代传统油旋片泵

• 精密设备配套，规避油蒸汽污染，保障工艺洁净度。