ESC‑500 静电吸盘用丝网印刷机

Micro‑tec（マイクロテック）ESC‑500 静电吸盘用丝网印刷机

ESC‑500静电吸盘用丝网印刷机，由日本Micro‑tec（マイクロテック）设计制造，是针对半导体静电吸盘陶瓷基板开发的专用丝网印刷设备。静电吸盘作为半导体设备核心零部件，表面需要印刷导电浆料、绝缘介质层，普通通用丝网印刷机无法适配静电吸盘特殊外形、定位精度以及工艺环境要求，ESC‑500从工装夹持、印刷控制上针对静电吸盘工件做专项优化，满足半导体零部件的精密浆料涂布需求。

设备搭载精密丝网印刷执行机构，刮刀压力、印刷速度、印刷行程均可独立调节，能够稳定控制浆料成膜厚度，保障涂层均匀性，印刷图案边缘清晰锐利。配套专用工件定位工装，对静电吸盘陶瓷基板实现高精度对位，降低印刷偏移，满足半导体零部件严苛的位置精度要求。设备可兼容多种功能性浆料，导电浆料、绝缘介质浆料都可以完成图案化丝网涂布，既可以用于新产品工艺研发打样，也支持小批量零部件生产加工。整机机械结构经过半导体工艺场景优化，运行稳定，多次印刷一致性优异，减少批次之间的工艺波动。整机为Micro‑tec原装设备，广泛用于静电吸盘生产企业、半导体零部件加工厂、高校及企业材料涂层工艺研发实验室。

技术参数

产品核心优势

• 专为静电吸盘工件定制，工装夹持适配半导体陶瓷吸盘基板；

• 印刷压力、刮刀速度、行程可调，涂层厚度均匀，图案边缘清晰；

• 高精度定位机构，降低对位偏差，满足半导体零部件精度要求；

• 兼容导电、绝缘介质等多种功能性浆料，实现图案化涂布；

• 兼顾研发打样与小批量生产，换版调试操作便捷；

• 日本Micro‑tec原装整机，印刷重复性好，适配半导体工艺管控。

主要应用领域

半导体静电吸盘制造；陶瓷基板浆料图案印刷；介质绝缘涂层加工；导电膜层涂布；半导体零部件工艺研发打样。