EKUSA EHS 系列半导体用超纯水在线加热器

EKUSA EHS系列半导体用超纯水在线加热器｜超纯水管路式恒温加热装置

EKUSA EHS 系列半导体用超纯水在线加热器 超纯水管路式加热装置 产品简介：EKUSA（エクサ）EHS系列超纯水在线加热器是面向半导体行业湿法工艺开发的管路式在线加热设备。在半导体晶圆清洗、湿法蚀刻等工序中，超纯水的温度稳定性直接影响清洗效果与产品良率，该设备直接串联在超纯水输送管路当中，对流动状态下的超纯水实现连续在线升温，为工艺端供给温度稳定的超纯水。设备采用适配超纯水工况的特殊加热结构，减少金属离子析出，不会对高等级超纯水造成二次污染，满足半导体严苛水质标准。整机集成温度实时监测模块，搭配多重过热保护机制，当出现温度异常时会触发报警保护，有效防止干烧、超温等故障，保障产线连续稳定运行。设备为立式机柜一体式结构，管路接口标准化，可便捷接入原有超纯水供水回路，无需复杂改造，广泛应用于半导体晶圆制造、面板加工以及精密电子零部件清洗产线，也可用于科研实验室高纯水恒温供水系统配套。

EKUSA EHS 系列半导体用超纯水在线加热器 超纯水管路式加热装置 技术参数

产品核心优势

• 专为半导体超纯水工况设计，管路在线连续加热流动水体，适配产线连续作业；

• 特殊结构抑制金属离子析出，不污染超纯水，满足半导体工艺高水质要求；

• 控温性能优异，出水温度波动小，保障晶圆清洗工艺水温稳定；

• 多重温度监测与过热保护，异常报警停机，降低产线故障风险；

• 立式机柜一体化整机，标准化管路接口，接入现有供水系统安装便捷；

• 适配半导体晶圆清洗、面板湿法工艺、精密零件清洗等多类应用场景。

典型应用领域

半导体晶圆湿法清洗工艺超纯水加热；半导体、面板工厂湿法制程供水系统；实验室高纯水恒温供水系统配套；精密电子零件清洗工序恒温供水。