一、日本 AYUMI DV-15/DV-25/DV-40 洁净型手动真空隔膜阀 PTFE 低出气微量流量调节阀 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | AYUMI DV系列手动真空隔膜阀 DV-15 / DV-25 / DV-40 |
| 密封结构 | PTFE复合隔膜隔离密封,流道与驱动油脂相对隔离 |
| 真空区间 | 大气压~1×10⁻⁴ Pa,三规格通径覆盖微量支管至小型主抽管路 |
| 操作方式 | 顶部多圈手动微调旋钮,可连续调节真空流导大小 |
| 核心应用 | 科研实验室真空腔体、台式小型镀膜、真空检漏、微量工艺气体配气系统 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 标准规格 |
|---|---|
| 阀体工艺 | 304不锈钢,内腔可做电解镜面抛光,降低气体吸附 |
| 隔膜材质 | PTFE+FKM复合隔膜,适用于低析出、微量溶剂水汽工况 |
| 密封漏率 | 阀门全关静态氦漏率 ≤5×10⁻⁷ Pa·m³/s |
| 工作温度区间 | -10℃~80℃ |
| 管路接口 | 标准小型真空卡箍/外螺纹接口 |
| 拓展配套 | 替换PTFE隔膜片、KF/ISO法兰转接座、气动执行改装套件、微量稳压组件可选加装 |
三、产品核心特点
1. 隔膜隔离结构,减少驱动油脂进入工艺流道
普通阀门驱动丝杆润滑油可能挥发进入真空腔,DV隔膜将介质侧与驱动侧相对分开,油脂、粉尘不易进入工艺流道,适用于对洁净度有要求的真空场景。
2. PTFE复合隔膜,适用于低析出要求场景
隔膜表层PTFE材质,在常规工况下可降低有机杂质释放,适用于镀膜、微量检测等对背景杂质较敏感的工艺场景。
3. 多圈渐进式手动微调,可控制微量真空流导
旋钮可停留在不同开度,便于调节进气、抽气流速,适用于实验室工艺研发和参数摸索。
4. DV15/25/40三规格覆盖不同管路需求
DV-15可用于微量配气细小支管,DV-25可用于通用实验腔体,DV-40可用于小型设备主抽管路,同系列隔膜耗材通用性较好。
5. 304不锈钢流道,适配常规真空环境
不锈钢阀体耐腐蚀性能较好,内腔抛光处理后可减少水汽、有机气体吸附,有助于缩短抽气时间。
6. 软隔膜密封,降低金属刀口磕碰影响
与金属硬密封阀相比,隔膜式密封对轻微磕碰的容忍度相对更高,适合频繁拆装的科研实验场景。
7. 隔膜更换结构相对简单
无需复杂工装即可拆卸更换隔膜密封件,现场维护时间较短。
8. 小型紧凑机身,适配狭小空间
整机体积较小,可安装于台式镀膜、小型烘烤腔体内部狭小管路和多层配气台。
四、日本 AYUMI DV-15/DV-25/DV-40 洁净型手动真空隔膜阀 PTFE 低出气微量流量调节阀 适用行业与应用场景
高校/企业研发实验室:小型样品真空烘烤腔体、残余气体分析仪隔离阀;
台式精密镀膜设备:小型磁控溅射、电阻蒸发机微量工艺进气调节阀;
真空检漏系统:检漏仪旁路隔离、标准漏孔微量分压控制;
微量工艺配气装置:多组分惰性、反应气体低流量配比稳压调节;
锂电研发中试设备:软包小型电芯真空脱气、实验注液腔体通断控制阀;
电子元器件制程:芯片、微型元件低温真空除水汽烘干管路隔离阀。






