一、日本 Applics GT-10 小型台式臭氧气体发生器 产品基础信息
| 项目 | 详情 |
|---|---|
| 品牌型号 | Applics GT-10 小型台式臭氧气体发生器 |
| 发生原理 | 低温纯氧电晕放电制臭氧，无NOx氮氧化物副产物，气体纯度高 |
| 气源适配 | 外接干燥高纯氧气，适配小型制氧机、氧气钢瓶两类气源 |
| 机身结构 | 一体式防腐不锈钢台式机箱，便携提手，耐臭氧氧化腐蚀 |
| 核心应用 | 高校材料、半导体、催化实验室微量工艺臭氧供气，薄膜/晶圆改性清洗实验 |
二、核心规格参数
| 参数项 | 标准规格 |
|---|---|
| 浓度控制 | 电控闭环连续线性调节臭氧输出浓度，长时间运行漂移小，实验重复性好 |
| 气路设计 | 内置稳压缓冲腔体，小流量输出气流平稳无脉冲，适配微量科研工艺 |
| 操作面板 | 前置数字显示屏，支持浓度设定、定时启停，人机操作简洁直观 |
| 气路配件 | 全管路不锈钢+特氟龙密封件，耐受臭氧长期强氧化腐蚀 |
| 拓展配套 | 可搭配臭氧尾气分解器、质量流量计、在线臭氧浓度检测仪、管式炉真空腔体联动 |
| 运行模式 | 支持间歇短时间工艺实验、长时间连续材料老化改性测试两种工况 |
| 摆放形式 | 小型台式结构，占用操作台面积极小，适配仪器密集型实验室 |
| 安全设计 | 标准化出气接口，可串联尾气处理装置，残余臭氧分解无害排放 |
三、产品核心性能优势
1. 纯氧放电无氮氧化物杂质，适配半导体、二维材料精密科研
区别普通空气式臭氧发生器，整机仅使用高纯氧气作为气源，电晕放电过程不会生成NOx、硝酸类杂质，不会污染晶圆、纳米薄膜、光电芯片，保障精密材料实验无额外干扰杂质引入。
2. 闭环电控连续可调臭氧浓度，多次实验数据一致性高
内置闭环反馈调节模组，臭氧输出浓度线性连续可调，设备长时间连续工作浓度漂移幅度极低，同一工艺参数重复实验条件稳定，满足对比类、变量类科研实验数据可追溯要求。
3. 小型台式轻量化机身，实验室操作台可直接摆放
整机体积大幅压缩，配备顶部便携提手，无需独立设备机柜，可就近放置管式炉、探针台、反应釜旁配套供气，解决大型臭氧设备占地大、搬运不便的痛点。
4. 全防腐不锈钢+特氟龙气路，抵御臭氧强氧化腐蚀
臭氧具备氧化腐蚀性，整机内部腔体、外壳、密封管路全部采用耐氧化不锈钢与特氟龙材质，长期持续通臭氧运行无管路老化、气体渗漏，降低日常耗材更换频次。
5. 稳压缓冲气路，小流量输出气流平稳无气压脉冲
针对实验室微量工艺优化内置稳压缓冲腔，输出臭氧混合气气流平缓，通入真空腔体、管式炉不会造成腔内气压剧烈波动，维持反应环境稳定可控。
6. 数显一体化简易操控，无需专业培训快速上手
机身正面集成数字显示操作面板，可直接设置目标臭氧浓度、定时工作时长，一键启动/停止臭氧输出，操作逻辑简单，高校学生、实验室操作人员均可快速掌握。
7. 兼容标准尾气分解装置，实验室安全合规使用
出气端采用通用标准化气路接头，可直接串联专用臭氧尾气分解处理器，将实验残余臭氧分解为氧气，无刺激性有毒气体外泄，符合高校、企业实验室通风安全管理规范。
四、适用行业与应用场景
高校材料科学实验室：二维材料、纳米薄膜臭氧表面氧化、亲水改性、缺陷调控科研实验
半导体光电子研发部门：硅晶圆、GaN基芯片臭氧干法清洗、光电器件加速老化可靠性测试
环境催化科研团队：大气VOC污染物臭氧氧化降解、催化反应机理模拟基础实验
高分子新材料实验室：塑料薄膜表面臭氧接枝改性，提升薄膜附着力与亲水性能
生物菌种实验室：密闭腔体低温臭氧微生物灭活、不同消杀浓度对照实验
MEMS精密器件工艺工位：微型传感芯片臭氧表面预处理、微型薄膜清洗工艺摸索
相关文章
